على سطح الرقاقة، يكفي وجود بقعة ماء واحدة لتدمير الرقاقة بأكملها. يجب استخدام ماء مقطر للتنظيف، وإذا لم يتم التخلص من الرطوبة بشكل كامل، فإن ذلك سيؤدي إلى تلوث الرقاقة، وبالتالي فإن التصاق المادة الحساسة للضوء بالرقاقة سيكون ضعيفًا. التجفيف التقليدي يخلق تدرجات حرارية على سطح الرقاقة، مما يؤثر على دقة عملية التجفيف. وإذا لم تكن أجهزة التسخين مستقرة، فإن الجسيمات الناتجة عنها قد تزيد من عدد الجسيمات في الغرفة النظيفة، مما يخرج النتائج عن المعايير المطلوبة.
فما الحل؟ لقد صممنا جهاز التجفيف باستخدام أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، مغلفة في غلاف من الكوارتز. هذا الجهاز لا يحتاج إلى اتصال مباشر، ويعمل بسرعة، والاستجابة تكون في غضون ثوانٍ قليلة.
يظل التوزيع الحراري على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية خلال كامل عملية التجفيف، مما يضمن الحفاظ على الدقة المطلوبة في استخدام المادة الحساسة للضوء. يظل الإخراج ثابتًا من 10% إلى 100%، وهو ما يضمن الاستقرار في النتائج. جسم الجهاز مناسب للاستخدام في الغرف النظيفة من الدرجة 1 إلى 100، وقد تم التأكد من عدم وجود أي جسيمات على سطح الرقاقة. تم تعديل كثافة الطاقة بحيث يتم التخلص من الماء على السطح دون أن يؤدي ذلك إلى فقدان المذيبات، مما يضمن الحفاظ على الظروف الحرارية المطلوبة.
في عملية تنظيف وتجفيف الرقاقات، يعمل هذا الجهاز بسرعة وبشكل متساوٍ، دون ترك أي بقع أو تجمعات للماء على سطح الرقاقة، وذلك قبل البدء في معالجة المادة الحساسة للضوء.
عند الانتقال إلى خطوات معالجة المادة الحساسة للضوء، يساعد هذا الجهاز في الحفاظ على الدقة في النتائج. يقل استهلاك الطاقة لأن الحرارة تذهب مباشرة إلى الهدف، وليس إلى تسخين الغازات المحيطة.
تم إثبات موثوقية هذا الجهاز خلال ساعات العمل المستمرة: أكثر من 5,000 ساعة عمل مع انخفاض في الإخراج بنسبة أقل من 5%， ولا يوجد توقف غير مخطط له في خطوط الإنتاج ذات الإنتاجية العالية.
يحتاج الجهاز إلى مصدر طاقة مخصص ومحمي، بالإضافة إلى تنظيم الجهد للحفاظ على التوزيع الحراري ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية. يمكن استخدام هذا الجهاز مع واجهات الأدوات القياسية، لكن يجب الحفاظ على سلامة المسار الضوئي من أي طبقات مائية أو بخار، ويجب استخدام أجهزة تنقية الهواء لتجنب التغيرات في الرطوبة.
يجب معايرة الجهاز كل 1,000 ساعة للحفاظ على الدقة المطلوبة.