في عملية إعادة التوزيع، يكون التركيز الأساسي هو التحكم في درجة الحرارة. فهناك نقاط ساخنة أثناء تصلب مادة الإيبوكسي المستخدمة في القوالب، كما أن هناك اختلافات في درجة الحرارة أثناء عملية تسخين الرزين الضوئي. وبالتالي، يصبح من الصعب التحكم في عرض الخطوط وتجنب حدوث اختلافات في مستوى السطوح. لذلك، يجب أن يوفر الجهاز درجة حرارة ثابتة، سواء في كل رقاقة، أو في كل دفعة من الرقائق، أو في كل جلسة تصنيع.
ما الذي يهم فعلاً؟ لقد صُمم جهاز التسخين المستخدم في عملية إعادة التوزيع باستخدام مصادر إشعاع بالأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة. إنه نظام تسخين سريع، مما يساعد على الحفاظ على درجة الحرارة ضمن النطاق المطلوب. في المنطقة النشطة، تكون درجة الحرارة موحدة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وذلك باستخدام أجهزة قياس درجة الحرارة الموجودة على السيليكون الخام. يتم الاستجابة للتغيرات في درجة الحرارة في غضون ثوانٍ، وهو أمر مهم عند التحكم في عمليات التسخين. كما أن الجهاز يعمل في بيئات نظيفة من الدرجة 1-100، وذلك بفضل تصميمه الذي يقلل من انبعاث الغازات، بالإضافة إلى عدم تكون أي جسيمات أثناء العمل. في الاستخدام الفعلي، يعمل الجهاز على مدار 24 ساعة يومياً، دون الحاجة إلى صيانة لآلاف الساعات.
لماذا يعمل الجهاز بشكل جيد في الإنتاج؟ في عملية إعادة التوزيع، يتم تسخين الرزين الضوئي، ثم تصلب المادة المستخدمة في ملء الفراغات بين الرقائق، ثم إعادة تدفق المواد المستخدمة في تثبيت الرقائق. كل خطوة من هذه الخطوات تؤثر على جودة الرقائق. يساعد جهاز التسخين في استقرار درجة الحرارة، مما يضمن بقاء الأبعاد الحرجة ضمن النطاق المطلوب، ويقلل من الفراغات الناتجة عن عملية التصلب. كما أن التوحيد في درجة الحرارة يقلل من عدد الرقائق المرفوضة، ويسهل نقل الرقائق من دفعة إلى أخرى. كما أن استخدام الطاقة يقل، لأن مصادر الإشعاع تسخن المنطقة المطلوبة مباشرة، دون تسخين الغرفة بأكملها. والنتيجة هي: المزيد من الرقائق الجيدة لكل ورقة سيليكون، وعدد أقل من الرقائق التي تحتاج إلى إعادة معالجة، بالإضافة إلى إمكانية التخطيط لفترات العمل بشكل أفضل.
الأمور التي يجب الانتباه إليها من البداية: يمكن تركيب الجهاز في أجهزة الطلاء/التسخين الموجودة، لكن يجب أن يتناسب حجم الجهاز مع حجم الأجهزة المستخدمة. كما يجب توفير مصدر طاقة مناسب، بالإضافة إلى حماية مناسبة للمناطق الحساسة للتداخل الكهرومغناطيسي. عندما تزيد درجة الحرارة عن 250 درجة مئوية، يجب الانتباه إلى واجهات الكوارتز والسيراميك، حيث نوفر منحنى التبريد المناسب. يجب التخطيط لتركيب الجهاز مسبقاً، حتى يتسنى البدء في العمل بسرعة.