ফ্যাব ফ্লোরে, আপনি জানেন নিয়ম: বেক তাপমাত্রায় 0.5°C ড্রিফট হলে গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলো ন্যানোমিটারে পরিবর্তিত হতে পারে, এবং পরের মুহূর্তে আপনি অনেক বেশি স্ক্র্যাপ করছেন। প্রচলিত ল্যাম্পগুলোও ওজোন মিশ্রণে ফেলে, যা অপটিক্স ক্ষয় করে এবং চেম্বারগুলোতে স্তর সৃষ্টি করে। কণার সংখ্যা বেড়ে যায়, এবং আপনি অনির্ধারিত মেরামতের জন্য আবার বেতে ফিরে যান। আমরা একটি ওজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড ল্যাম্প তৈরি করেছি যাতে এই পরিবর্তনশীল উপাদানটি সরানো যায়।
যা গুরুত্বপূর্ণ
আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ইমিটার ব্যবহার করি যা ফটোরেজিস্ট এবং সাবস্ট্রেটে দ্রুত, সরাসরি শোষণের জন্য টিউন করা হয়, এবং স্পেকট্রাম এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে ওজোন উৎপত্তি নিয়ন্ত্রণে থাকে। সফট বেক এবং হার্ড বেকের সময়, ওয়েফারের উপর তাপমাত্রার একরূপতা ±0.1°C বজায় থাকে, যা ভিসকোসিটি, পুরুত্ব এবং লাইন-এজ রাফনেস স্থিতিশীল রাখে। সেটপয়েন্ট ট্র্যাকিং ৫০ ms-এর নিচে থাকে, তাই ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ সঠিক থাকে এবং তাপীয় বাজেট ধারাবাহিক থাকে।
ডিজাইনটি ক্লিনরুমের জন্য প্রস্তুত, ক্লাস 1–100 এর উপযোগী। ল্যাম্প অ্যাসেম্বলি কোনো কণা ছাড়ে না, এবং সিল করা কোয়ার্টজ এনভেলপ আউটগ্যাসিং কম রাখে। আউটপুট ৫,০০০+ ঘণ্টারও বেশি সময় ধরে স্থির থাকে, যার তীব্রতা ৫% এর কম হ্রাস পাওয়া যায়—সুতরাং আপনি ২৪/৭ চলাতে পারেন পুনঃক্যালিব্রেশন ছাড়া।
লিথোগ্রাফিতে এর প্রয়োজনীয়তা
ফটোরেজিস্ট প্রসেসিং নির্ভর করে পুনরাবৃত্ত তাপমাত্রা প্রোফাইলের ওপর। এই ল্যাম্প ওয়েফারের উপর পুনরাবৃত্ত বেক প্রোফাইল প্রদান করে, যা উৎপাদন বৃদ্ধি করে এবং স্ক্র্যাপ কমায়। দ্রুত তাপীয় স্থিতিশীলতা সাইকেল সময় কমায়, এবং এর বিনিময়ে একরূপতা খর্ব হয় না। শক্তি ব্যবহার কমে কারণ তাপ সরাসরি টার্গেটে যায়, চেম্বার উত্তপ্ত করার পরিবর্তে।
শূন্য ওজোন মানে কম দূষণ, দীর্ঘ অপটিক্স আয়ু, এবং পূর্বনির্ধারিত রক্ষণাবেক্ষণের সময়সূচি।
পরিকল্পনার জন্য যা প্রয়োজন
ল্যাম্পের জন্য একটি নিবেদিত, পরিষ্কার পাওয়ার ফিড দরকার, এবং মাউন্টিং টলারেন্সগুলো যথাযথ রাখতে হবে যাতে ফোকাল দূরত্ব এবং একরূপতা ঠিক থাকে। এটি বিদ্যমান বেক/চিল প্লেট এবং ট্র্যাক সিস্টেমের সাথে সহজে ইন্টিগ্রেট হয়, তবে ইনস্টলেশনের সময় তাপীয় ইন্টারফেসের সঠিক সামঞ্জস্য যাচাই করা উচিত।
অতিরিক্তভাবে, স্পেকট্রাল স্থিতিশীলতায় পৌঁছাতে একটি সংক্ষিপ্ত ওয়ার্ম-আপ সময় থাকে—প্রক্রিয়া যোগ্যতার সময় এটি বিবেচনায় রাখতে হবে যাতে প্রথম রানেই সমস্যা সৃষ্টি না হয়।