
সেমিকন্ডাক্টর IR উৎপাদনের জন্য আন্ডারফিল কিউরিং প্রক্রিয়াটি খুবই গুরুত্বপূর্ণ। এখানেই থার্মাল বাজেট ও উৎপাদন ক্ষমতার মধ্যে সংঘর্ষ ঘটে। কখনও কখনও কোনো প্যাকেজটি ঠিকমতো কিউর হয় না; ফলে রিফ্লো প্রক্রিয়ার পর ডিল্যামিনেশন ঘটে, আর Cpk মানটিও নির্ধারিত সীমার বাইরে চলে যায়। আমরা থার্মাল প্রোফাইলটিকে নিয়ন্ত্রণে রাখার জন্য NIR আন্ডারফিল কিউরিং পদ্ধতি ব্যবহার করি; ফলে প্রতিটি ইউনিটই নির্ভরযোগ্যতার মানদণ্ড অনুযায়ী উৎপাদিত হয়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আন্ডারফিল কিউরিং প্রক্রিয়ায় ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; এবং এই অবস্থা শিফট থেকে শিফট ধরে বজায় থাকে। NIR শক্তি দ্রুত কাজ করে; ফলে সাবস্ট্রেটটি ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। এতে থার্মাল লোডটি নির্ধারিত সীমার মধ্যেই থাকে। এই সিস্টেমটি ২৪/৭ কাজ করে; কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। এটা ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০ এর মানদণ্ড অনুযায়ী কাজ করে; ফলে লিথোগ্রাফি ও প্যাকেজিং প্রক্রিয়ায় কণার পরিমাণ নিয়ন্ত্রণে থাকে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণটি সঠিকভাবে হয়; ফলে ফটোরেজিস্টের অবস্থা অক্ষুণ্ণ থাকে, আর ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলোও পরিবর্তিত হয় না।
হাই-ভলিউম অ্যাসেম্বলির ক্ষেত্রে এটি কেন কার্যকর? আন্ডারফিল কিউরিং প্রক্রিয়াটি উৎপাদন গতিকে নিয়ন্ত্রণ করে। NIR দ্রুত কাজ করে; ফলে অ্যাডহেশন বা ফিলেটের আকৃতিতে কোনো পরিবর্তন ঘটে না। এতে অপ্রয়োজনীয় কাজ কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও কম হয়; কারণ কিউরিং প্রক্রিয়াটি দ্রুত ও লক্ষ্যমুখী হয়। পুনরাবৃত্তি করার ফলে OEE স্থিতিশীল থাকে। ওয়েফার থেকে প্যাকেজ পর্যন্ত সবকিছুতেই সামঞ্জস্যপূর্ণ অ্যাডহেশন থাকে; CTE মানও নির্ধারিত সীমার মধ্যে থাকে। ফলে থার্মাল সাইক্লিং করার সময় ব্যর্থতার সংখ্যা কমে যায়।
সংক্ষেপে, NIR আন্ডারফিল কিউরিং পদ্ধতিটি অত্যন্ত কার্যকর। যদি জিওমেট্রি ঠিক না থাকে, তাহলে দক্ষ ডিজাইন বা অতিরিক্ত কিউরিং প্রক্রিয়া প্রয়োজন। কমিশনিং প্রক্রিয়াটি দ্রুত হয়—ল্যাম্পের প্রোফাইল, কনভেয়ারের গতি ও আন্ডারফিলের এমিসিভিটি ঠিক করলেই হয়। একবার ঠিক হয়ে গেলে এই প্রক্রিয়াটি বিভিন্ন ধরনের পণ্যের ক্ষেত্রেও কার্যকর থাকে। কিন্তু যদি আন্ডারফিলের ফর্মুলেশন পরিবর্তন করা হয়, তাহলে থার্মাল রেসিপিটি আবার নির্ধারণ করা প্রয়োজন।