Přestaňte zahřívat celou strojovnu a začněte zahřívat samotný wafer. Pokud jste někdy strávili čas v továrně na polovodiče, víte, o co jde. Je potřeba dostat wafer na požadovanou teplotu, ale většina infračervených lamp v podstatě funguje jako běžné žárovky – vyzařují teplo do všech směrů. To je plýtvání energií. Ještě horší je, že to z příslušenství stroje udělá obrovský radiátor, což představuje nebezpečí pro lidi, kteří stojí poblíž. Proto jsme přešli na infračervené lampy z uhlíkových vláken.
Jak to vlastně funguje
Na wolframové nebo halogenové dráty zapomeněte. My používáme emitory z uhlíkových vláken spolu s speciálními reflektory, aby se infračervená energie soustředila do úzkého paprsku. Představte si to jako přechod z pouliční lampy na baterku – místo toho, aby teplo unikalo do stěn komory, proudí přímo na povrch waferu. Výsledkem je, že vnější část stroje zůstává chladná na dotek. To je obrovská úleva pro lidi, kteří pracují v této oblasti.
Nevýhody (protože vždycky nějaké jsou)
Tyto lampy jsou určeny k vysoké intenzitě zahřívání. Obvykle je nastavujeme pro krátkovlnné záření, což znamená, že se velmi rychle nahřívají. Díky tomu mají menší rozměry a čas reakce je téměř okamžitý. Ale problém je v tom, že tato intenzita je dvojsečná zbraň. Protože paprsek je tak úzký, je potřeba mít maximální přesnost. Pokud je cíl posunut o pár milimetrů, vzniknou na waferu horká místa. Nesmíte být nepřesní při instalaci. Upevňovací prvky musí být pevné a budete muset upravit regulátory PID, aby dokázaly držet krok s rychlostí vzestupu teploty.
Instalace do vašeho zařízení
Dobrou zprávou je, že jejich instalace není složitá. Byly navrženy tak, aby nahradily ty staré, neefektivní ohřívací prvky. Navíc to přináší výhodu i pro správce provozu – protože celý rám stroje není zalitý horkem, chladicí systém nemusí tak usilovně pracovat. Chladicí čerpadla mohou konečně odpočívat a interní elektronika není neustále v nebezpečí přehřátí. Je to bezpečnější, levnější a prostě logičtější.