Hören Sie auf, Ihre Maschine zu erhitzen – heizen Sie stattdessen den Wafer.
Wenn Sie schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, kennen Sie das Problem: Man muss den Wafer auf die richtige Temperatur bringen. Doch die meisten Infrarotlampen funktionieren im Grunde wie herkömmliche Glühbirnen – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Das ist Verschwendung. Schlimmer noch: Dadurch wird der Gehäuseauskleidung der Maschine zur Art „Radiator“, was für die Personen, die in der Nähe stehen, gefährlich sein kann.
Deshalb haben wir auf Infrarotlampen aus Kohlenstofffaser umgestellt.
Wie es funktioniert
Vergessen Sie Wolfram- oder Halogendrähte. Wir verwenden Emitter aus Kohlenstofffaser in Kombination mit speziellen Reflektoren, um die Infrarotenergie in einem schmalen, fokussierten Strahl zu bündeln. Stellen Sie sich das wie den Wechsel von einer Scheinwerferscheinung zu einer Taschenlampe vor: Anstatt dass die Wärme in die Wände der Kammer strömt, gelangt sie direkt zum Substrat. Das Ergebnis ist, dass das äußere Gehäuse angenehm kühl bleibt. Das ist eine große Erleichterung für die Menschen, die in der Nähe arbeiten.
Der Nachteil (denn es gibt immer einen)
Diese Lampen sind dafür konzipiert, hohe Temperaturen zu erzeugen. Wir nutzen sie meist für Kurzwellenstrahlung – dadurch erreichen sie sehr schnell ihre maximale Leistung. Dadurch entsteht eine kleinere Ausdehnung des Strahls sowie eine nahezu sofortige Reaktionszeit.
Aber: Diese Intensität hat auch ihre Nachteile. Da der Strahl so eng fokussiert ist, ist Präzision entscheidend. Wenn das Zielobjekt nur wenige Millimeter abweicht, entstehen Hotspots auf dem Wafer. Bei der Installation darf man also keine Fehler machen. Die Befestigungsbrackets müssen absolut stabil sein, und man muss die PID-Controller so einstellen, dass sie mit dem schnellen Temperaturanstieg Schritt halten können.
Inbetriebnahme
Die gute Nachricht ist: Der Austausch dieser Lampen ist kein Problem. Sie sind als Ersatz für die alten, unpraktischen Heizelemente konzipiert worden. Zudem hat das auch Vorteile für den Facility Manager: Da nicht das gesamte Maschinengehäuse überhitzt, muss das Kühlsystem nicht so hart arbeiten. Die Kühlpumpen können endlich wieder durchatmen, und die elektronischen Komponenten werden nicht ständig überhitzt. Es ist also sicherer, kostengünstiger – und einfach sinnvoller.