Wie man Staub vermeidet: So erreicht man eine vollständig kontaminiationsfreie Erwärmung
In einem Reinraum der Klasse 100 bedeutet bereits ein einziger Staubkorn einen großen Problemfall. Wenn das Heizelement anfängt, Partikel abzugeben oder Gase auszustoßen, geht es nicht nur um die Verlust einiger Wafer – sondern um den gesamten Produktionsprozess. Das ist ein Albtraum.
Deshalb verwenden wir hochreine synthetische Quarzlampen.
Das Geheimnis liegt im Glas.
Normales Glas enthält viele metallische Verunreinigungen. Wenn es immer wieder erhitzt und abgekühlt wird, beginnt es zu spröde zu werden. Das mag zwar nicht viel sein, doch es reicht aus, um die Qualität der Wafer zu beeinträchtigen. Wir verwenden stattdessen gefülltes Siliziumglas. Es ist rein – ohne Rückstände und ohne „Spuren“ auf den Wafern. Zudem gibt es kein Abblättern des Glases.
Wärme ohne Luftzug
Das Beste daran: Diese Lampen nutzen Strahlungswärme. Da die Energie durch Strahlung übertragen wird, muss man keine künstliche Luftzirkulation erzeugen, um die Wafer zu erwärmen. Keine Luftbewegung bedeutet auch, dass kein Staub aufgewirbelt wird, der sich gerne in den Geräten absetzt.
Die Lampen erreichen schnell ihre Betriebstemperatur. Die Wärme wird genau dorthin geleitet, wo sie benötigt wird – sofort.
Aber Achtung: Diese Lampen produzieren eine Menge Energie. Wenn das Gehäuse des Geräts nicht richtig belüftet wird, wandert diese Wärme direkt in die Elektronik des Geräts. Man muss sicherstellen, dass die Kühlung mit der Leistung der Lampe Schritt halten kann – sonst tauscht man nur eines Problem gegen ein anderes aus.
Lange Zeit sauber bleiben
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie einfach eingebaut werden können – ohne dass man den ganzen Tag damit verbringen muss, sie anzubringen. Außerdem verwenden wir vergoldete oder hochwertige Leiter. Warum? Weil Oxidation zu kleinen, spröden Teilchen führt, die sich gerne in der Vakuumkammer ansammeln. Indem wir die Oxidation verhindern, bleibt die Kammer sauber.
Noch etwas: Überprüfen Sie vor dem Einschalten die Spannung. Wenn Sie eine hochreine Lampe mit zu hoher Spannung versorgen, verkürzen Sie deren Lebensdauer. Schlimmer noch: Der Quarz kann Risse bekommen – dann entsteht sofort ein Vakuumverlust. Das ist sicherlich keine angenehme Situation.