Secar las obleas de sensores MEMS sin problemas
Secar las obleas de sensores MEMS es algo delicado. Es necesario que el agua desaparezca rápidamente, pero si se actúa con demasiada intensidad, se generará estrés mecánico y los componentes se dañarán.
Hemos encontrado una forma de resolver esto utilizando calentadores infrarrojos junto con reflectores recubiertos de oro. El objetivo es simple: asegurarse de que el calor llegue realmente a la oblea, en lugar de simplemente calentar el interior de la máquina.
¿Por qué el oro?
La mayoría de las personas utilizan reflectores de aluminio, pero estos pierden mucha energía infrarroja. Se trata de calor desperdiciado. Nosotros optamos por un revestimiento de oro de alta pureza, ya que este material es excelente para reflejar la luz infrarroja. En otras palabras, no se trata de “añadir más calor”, sino de dirigir ese calor directamente hacia la oblea.
Lo mejor de todo es que se obtiene un flujo de calor mucho más intenso, sin necesidad de utilizar más energía eléctrica. Es mucho más eficiente.
Lograr el nivel adecuado de calor
En el mundo de los MEMS, la consistencia es clave. Si un lado de la oblea se seca más rápido que el otro, se producirán deformaciones o patrones irregulares en la superficie de la oblea. Eso es un verdadero problema.
Pasamos mucho tiempo ajustando la geometría de los reflectores para evitar esos puntos calientes molestos. La capa de oro ayuda a distribuir el calor de manera uniforme por toda la superficie de la oblea. Así, todo funciona de manera más óptima.
Los inconvenientes y cómo solucionarlos
El problema es que, cuando se aplica tanta energía al objeto a secar, la carcasa del calentador se calienta mucho. No se puede ignorar esto. Es necesario verificar que los ventiladores de enfriamiento o las rejillas de enfriamiento funcionen correctamente para manejar el calor generado. Si no se asegura un buen flujo de aire, los electrodos se sobrecalentarán y la vida útil del calentador disminuirá.
Además, es importante utilizar un controlador PID de precisión. Dado que el sistema recubierto de oro reacciona rápidamente a los cambios en la potencia, es necesario ajustar cuidadosamente los parámetros de control. De lo contrario, se superará la temperatura deseada.
Una vez que todo esté ajustado adecuadamente, se pueden reducir significativamente los tiempos de secado, manteniendo al mismo tiempo la integridad de la oblea. Es una solución perfecta.