¿Por qué dejamos de usar aire caliente y pasamos a utilizar lámparas infrarrojas en el secado de semiconductores?
Seamos honestos: la etapa de enjuague es, por lo general, cuando todo se ralentiza. Durante años, la solución habitual ha sido utilizar circulación de aire caliente. Pero eso significa, básicamente, calentar un gran volumen de aire solo para secar una oblea. Parece un desperdicio de tiempo y energía.
Por eso hemos pasado a utilizar lámparas infrarrojas resistentes al agua. En lugar de calentar toda la habitación, estas lámparas envían energía directamente hacia el sustrato. Es un método completamente diferente de manejar la física del proceso.
La velocidad es clave
El aire caliente es lento. Tiene que expulsar la humedad y calentar el aire antes de que algo realmente ocurra. Las lámparas infrarrojas, en cambio, actúan de forma instantánea. Hablamos de segundos, no minutos. Al reducir este “tiempo de procesamiento” por lote, aumenta la eficiencia del proceso. Esa es precisamente la razón por la cual las líneas de producción que buscan mayores volúmenes de producción están cambiando a este método.
Manejo de la humedad
Por lo general, las lámparas infrarrojas y el agua no se combinan bien. Las bombillas convencionales se dañan en cuanto entran en contacto con un ambiente húmedo o debido a salpicaduras de agua durante el enjuague. Hemos resuelto esto utilizando envoltorios de cuarzo herméticos y sellos muy resistentes. De esta manera, la humedad no puede entrar y el filamento queda protegido. Obtienes toda esa densidad térmica sin preocuparte por cortocircuitos causados por salpicaduras de agua. Funciona perfectamente, incluso encima de los baños de enjuague.
Algunas cosas a tener en cuenta
No todo es magia: existen algunos sacrificios que hay que hacer. Dado que las lámparas infrarrojas emiten mucha calor rápidamente, es necesario controlar bien la temperatura. Si se aumenta demasiado la intensidad de las lámparas sin controlar la temperatura alrededor de ellas, se pueden dañar los componentes o los sensores cercanos. No es ideal. Para mantener todo bajo control, recomendamos usar un controlador PID para regular la potencia. De esta manera, se evita que la superficie de la oblea supere la temperatura deseada. Se mantiene la velocidad, pero también se garantiza la estabilidad necesaria para que el proceso funcione correctamente.