در فرآیند توزیع مجدد، کنترل دما اهمیت بسیار زیادی دارد. هنگام خشک شدن مواد رزینی در قالبها، یک نقطه داغ ایجاد میشود؛ همچنین در حین پختن فوتورزیست، نوسانات دمایی رخ میدهد. در چنین شرایطی، کنترل عرض خطوط و همسطحی سطوح مختلف بسیار دشوار میشود. بنابراین، گرمکن باید دمای یکنواختی را در تمام قطعات، در تمام محمولهها و در تمام شیفتها فراهم کند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما گرمکنهای مورد استفاده در فرآیند توزیع مجدد را با استفاده از فرستندههای اینفرارد نوسانات کوتاه ساختیم. این روش گرمایش سطحی است و سریع عمل میکند؛ بنابراین میتوانیم کنترل دما را به خوبی انجام دهیم. در منطقه فعال، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این مقدار با استفاده از ترموکوپلها در سیلیکون خام اندازهگیری شده است.
پاسخ گرمکن در چند ثانیه اتفاق میافتد؛ این موضوع در فرآیندهای کنترل دقیق بسیار مهم است. فضای کاری با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰، با طراحی مناسب و عدم تولید ذرات در حین کار، پشتیبانی میشود. این گرمکن میتواند ۲۴ ساعته کار کند و فاصله زمانی بین تعمیرات نیز بسیار طولانی است.
چرا این گرمکن در فرآیند تولید موفق عمل میکند؟ در فرآیند توزیع مجدد، ابتدا فوتورزیست پخته میشود، سپس مواد رزینی خشک میشوند و در نهایت برآمدگیها منصفر میشوند؛ هر یک از این مراحل میتواند باعث کاهش کیفیت محصول شود. گرمکن، پروفایل دمایی را استابیل میکند تا ابعاد مهم محصول در محدوده مشخصی باقی بمانند و حفرههای ناشی از مواد رزینی نیز به حداقل برسند.
یکنواختی دما، کاهش تعداد محصولات ناموفق را به همراه دارد؛ همچنین، تکرارپذیری این روش، انتقال محصولات از یک محموله به محموله دیگر را آسان میکند. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا فرستندههای کوارتزی، فقط منطقه مورد نظر را گرم میکنند، نه کل محفظه. در نتیجه، تعداد محصولات خوب در هر ویفر افزایش مییابد، تعداد بازسازیها کاهش مییابد و زمان کاری نیز قابل پیشبینی خواهد بود.
چه چیزهایی باید از همان ابتدا در نظر گرفته شوند؟ گرمکن میتواند در سیستمهای روغنپاشی/پخت وجود داشته باشد، اما فضای نصب و ابعاد آن باید با دستگاه مربوطه هماهنگ باشد. نیاز به منبع تغذیه جداگانه و سیستم محافظتی برای مناطق حساس به EMI نیز وجود دارد.
وقتی دمای گرمکن از ۲۵۰ درجه سانتیگراد بالاتر میرود، باید به روابط کوارتز و سرامیک توجه کرد؛ ما منحنی کاهش دما را نیز فراهم کردهایم. باید ادغام این گرمکن را از همان ابتدا برنامهریزی کرد تا فرآیند کاری به سرعت انجام شود.