در کف کارخانه، روند کار را میدانید: تغییر ۰.۵°C در دمای پخت میتواند ابعاد بحرانی را به اندازه نانومتر جابجا کند، و به سرعت متوجه میشوید که مقدار زیادی ضایعات تولید میکنید. لامپهای سنتی همچنین ازن را وارد محیط میکنند که موجب خوردگی اپتیکها و پوششدهی محفظهها میشود. شمار ذرات افزایش مییابد و مجبور میشوید برای تعمیرات غیرمنتظره به بخش بازگردید. ما یک لامپ مادونقرمز بدون ازن ساختیم تا این متغیر را از معادله حذف کنیم.
آنچه زیر کاپوت اهمیت دارد
ما از ساطعکنندههای مادونقرمز کوتاهموج استفاده میکنیم که برای جذب سریع و مستقیم در فوتورزیست و زیرلایه تنظیم شدهاند، بهطوری که طیف نوری آنها به گونهای شکل داده شده که تولید ازن را به حداقل برساند. در طول پخت نرم و سخت، یکنواختی حرارتی در کل ویفر در محدوده ±0.1°C حفظ میشود که این ثبات ویسکوزیته، ضخامت و زبری لبه خطوط را تضمین میکند. ردیابی نقطه تنظیم کمتر از ۵۰ میلیثانیه است، بنابراین کنترل حلقه بسته دقیق باقی میماند و بودجه حرارتی ثابت میماند.
طراحی این لامپ برای اتاق تمیز کلاس 1 تا 100 آماده است. مجموعه لامپ هیچ ذرهای تولید نمیکند و پوشش کوارتز مهر و موم شده میزان خارج شدن گاز را پایین نگه میدارد. خروجی بیش از ۵۰۰۰ ساعت پایدار باقی میماند و شدت کمتر از ۵٪ کاهش مییابد، بنابراین میتوانید به صورت ۲۴/۷ بدون نیاز به کالیبراسیون مجدد کار کنید.
چرا این لامپ در لیتوگرافی کاربرد دارد
فرآیند فوتورزیست بر روی پروفیلهای دمایی قابل تکرار استوار است. این لامپ پروفیلهای پخت قابل تکرار در سراسر ویفر ارائه میدهد که باعث افزایش بازده و کاهش ضایعات میشود. تثبیت حرارتی سریعتر زمان چرخه را کاهش میدهد و این به قیمت کاهش یکنواختی تمام نمیشود. مصرف انرژی کاهش مییابد چون گرما مستقیماً به هدف میرسد و به گرم کردن محفظه منتقل نمیشود.
صفر بودن ازن به معنی کاهش وقایع آلودگی، طول عمر بیشتر اپتیکها و پنجرههای نگهداری پیشگیرانه قابل پیشبینی است.
مواردی که باید برای آن برنامهریزی کنید
لامپ نیاز به تغذیه برق اختصاصی و تمیز دارد و تلرانسهای نصب باید دقیق باشند تا فاصله کانونی و یکنواختی در حد مشخص باقی بماند. این لامپ بهراحتی با صفحات پخت/سردکن و سیستمهای ردیابی موجود یکپارچه میشود، اما حین نصب باید تراز رابط حرارتی را بررسی کنید.
همچنین یک زمان گرم شدن کوتاه برای رسیدن به پایداری طیفی لازم است—این موضوع را در اعتبارسنجی فرایند لحاظ کنید تا در اولین اجرای کار مشکلی ایجاد نکند.