Arrêtez de chauffer votre machine et commencez plutôt à chauffer votre wafer.
Si vous avez déjà passé du temps dans une usine de semi-conducteurs, vous savez quelles difficultés cela représente. Il faut absolument faire monter la température du wafer, mais la plupart des lampes infrarouges fonctionnent en réalité comme des ampoules classiques : elles émettent de la chaleur dans toutes les directions. C’est un gaspillage d’énergie. Pire encore, cela transforme l’enveloppe de l’équipement en un énorme radiateur, ce qui est dangereux pour ceux qui se trouvent à proximité. C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes infrarouges en fibre de carbone.
Comment ça fonctionne vraiment ?
Oubliez les fils en tungstène ou en halogène. Nous utilisons des émetteurs en fibre de carbone, associés à des réflecteurs spécifiques, afin de concentrer l’énergie infrarouge en un faisceau étroit et ciblé. Imaginez que vous passiez d’un projecteur à une lampe de poche : au lieu que la chaleur se répande dans les murs de la chambre, elle est dirigée directement vers le substrat. Résultat : l’enveloppe extérieure reste fraîche au toucher. C’est un vrai soulagement pour les personnes qui travaillent sur place.
L’inconvénient (car il y en a toujours un…)
Ces lampes sont conçues pour générer beaucoup de chaleur. Nous les utilisons généralement pour des rayonnements à ondes courtes, ce qui signifie qu’elles atteignent très rapidement leur température maximale. Cela permet d’obtenir un espace d’action plus restreint et un temps de réponse quasi instantané. Mais cette intensité est un double tranchant : comme le faisceau est très concentré, la précision est essentielle. Si votre cible n’est pas parfaitement alignée, vous risquez d’avoir des points chauds sur le wafer. Il ne faut donc pas être négligent lors de l’installation. Les supports d’installation doivent être solides, et il sera nécessaire d’ajuster les contrôleurs PID afin de gérer rapidement l’augmentation de température.
Intégration dans votre système
La bonne nouvelle, c’est que remplacer ces anciens éléments de chauffage par ceux-ci ne pose pas de problèmes. Ils ont été conçus pour remplacer facilement ces anciens dispositifs de chauffage. De plus, cela présente également des avantages pour le gestionnaire de l’usine : puisque toute la structure de la machine n’est pas soumise à une forte chaleur, le système de refroidissement n’a pas besoin de travailler autant. Les pompes de refroidissement peuvent enfin se reposer, et les composants électroniques internes ne sont plus constamment soumis à des températures élevées. C’est plus sûr, moins coûteux en termes d’énergie, et c’est simplement logique.