Arrêtez d’attendre que votre four fonctionne : pourquoi le chauffage par rayonnement infrarouge est supérieur dans le traitement des semi-conducteurs
Si vous continuez à compter sur la circulation d’air chaud pour le traitement approfondi des semi-conducteurs, vous passez en fait une grande partie de votre journée à attendre.
Pensez à le fonctionnement de l’air chaud : il faut d’abord chauffer l’air, puis la chambre, et enfin le substrat. C’est lent. C’est beaucoup d’énergie gaspillée rien que pour préparer l’environnement nécessaire au traitement.
Le chauffage par rayonnement infrarouge, lui, ne prend pas en compte l’air du tout. Il dirige directement l’énergie vers le substrat. C’est rapide et immédiat.
Le vrai avantage, c’est le temps gagné.
Avec un système à air chaud, ce délai de stabilisation est un vrai problème. Il faut attendre plusieurs minutes avant que les conditions soient optimales. Avec des lampes infrarouges, on atteint la température souhaitée en quelques secondes.
Je constate cela surtout lors du durcissement ou du dégazage des semi-conducteurs. En éliminant cette longue phase d’échauffement, le temps total de traitement diminue considérablement. On peut ainsi traiter beaucoup plus de wafer par heure, sans avoir besoin d’acheter une nouvelle machine ou de surcharger le lieu de travail.
Mais on ne peut pas simplement placer une lampe infrarouge et s’en contenter. La chaleur est intense. Si l’on utilise des fils en PVC ou en silicone près de ces émetteurs, ils fondent ou se détériorent rapidement. C’est pourquoi nous utilisons des fils revêtus de Téflon. Ils ne subissent aucun dommage lorsqu’il fait chaud, ce qui évite les courts-circuits et les réparations d’urgence.
Ce n’est pas une solution miracle. Il y a des limites. L’air chaud entoure les composants comme une couverture. Le rayonnement infrarouge, lui, agit en ligne droite. Si la lampe ne peut pas “voir” le composant, elle ne pourra pas le chauffer.
Il faut donc bien choisir l’endroit où placer les lampes et l’angle des réflecteurs. Si les composants ont des formes complexes ou des recoins profonds, il peut y avoir des zones froides. Dans ce cas, il est nécessaire d’utiliser un système à plusieurs angles ou même un système hybride pour assurer un chauffage uniforme.
Cela nécessite un peu plus de planification au départ, mais la vitesse obtenue en retour en vaut la peine.