בתהליך הליתוגרפיה, חימום החומר הפוטורזיסטי אינו רק שלב נוסף בתהליך – זו בעצם עוד גורם תרמי שאי אפשר להתעלם ממנו. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום עלול לפגוע בשליטה בממדים הקריטיים של השבב, ולגרום לשינויים בתווי הקירות של השבב. התנורים הרגילים יוצרים בעיות תרמיות, וקיים גם סיכון תמידי להיווצרות חלקיקים. המייבש האינפרא-אדום הקומפקטי לשבבים נוצר כדי להיפטר מבעיות אלו.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, ללא הלוגן, כדי להעביר אנרגיה ישירות אל השבב. זה מאפשר יציבות של פחות מ-10 שניות, ואחידות של ±0.1°C בכל שטח השבב. השגרתיות של הטמפרטורה בין פעימות שונות היא ±0.2°C, כך שתהליך הטיפול בחומר הפוטורזיסטי נשאר מדויק. המכשיר מתאים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, עם חלונות קוורץ מאוטמים ומערכת אוורור שמונעת היווצרות חלקיקים במהלך הפעולה. השליטה במכשיר היא באמצעות שיטת PID, והמכשיר מוכן לשימוש עם תקני SECS/GEM. כך ניתן לשלוט בתהליך החימום בצורה מדויקת.
למה הוא מתאים לתהליך הייצור? אתם משתמשים בשבבים בגודל 200 ממ ו-300 ממ, והחומר הפוטורזיסטי שאתם משתמשים בו הוא דק מאוד. חשוב מאוד לשלוט בטמפרטורה בצורה מדויקת, כדי לא לגרום לבעיות. המייבש מאפשר חימום מהיר ללא עליות טמפרטורה יתרה, מה שמקצר את זמן הפעולה ומפחית את צריכת האנרגיה. המכשיר יכול להתחבר למכשירים אחרים או לעבוד באופן עצמאי. גודלו קטן מספיק כדי לא לתפוס מקום רב בחדר הייצור. כך ניתן לצפות לפחות פסולת, אחידות טובה יותר בממדים של השבבים, ותפוקה צפויה. המכשיר עמיד לעשרות אלפי סיבובי חימום, ותוחלת החיים של הגלאים מאפשרת פעולה 24/7, עם צורך מינימלי בתחזוקה.
הפרטים שמבטיחים את האמינות של המכשיר: האינפרא-אדום מחמם במהירות, ולכן חשוב לשלוט בחימום בצורה קפדנית. יש לוודא שהמכשיר מתאים לשבבים שלכם – אנו מספקים גם מכשירים סטנדרטיים וגם מכשירים מותאמים אישית. יש לבצע בדיקות קצרות כדי לוודא שהמכשיר עובד כראוי. הצרכים של המכשיר הם פשוטים – 110–240 וולט, אוויר דחוס ומערכת אוורור – אך יש לבדוק את המתח החשמלי ולחץ האוויר בחדר הניקיון לפני ההתקנה.