על המשטח האבן, סימן מים בודד יכול לגרום להרס של כל המוצר. יש להשתמש במים מדיוניזציה כדי לנקות את המשטח, ואם לא מסירים את הלחות בצורה מוחלטת, עלולה להיווצר זיהום – וכתוצאה מכך ההדבקה של הפוטורזיסט תהיה לקויה. ייבוש רגיל יוצר הבדלי טמפרטורה על פני הוופר, מה שפוגע בתהליך הייבוש. ואם החיממים אינם יציבים, החלקיקים שהם פולטים עלולים להגדיל את מספר החלקיקים בחדר הנקי מעל הערכים המותרים.
אז מה עושים בנידון? יצרנו מנורת ייבוש של מים מדיוניזציה, המשתמשת בגלי אינפרא-אדום באורך גל קצר, המוגנים בתוך מעטפת קוורץ. המנורה אינה נוגעת במשטח, מחממת אותו במהירות, והתגובה שלה היא בפחות משנייה.
האחידות התרמית על פני הוופר נשמרת בטווח של ±0.1°C לאורך כל תהליך העבודה, כך שאין אובדן של השליטה בממדים של הפוטורזיסט. ההספק של המנורה נשאר יציב בין 10% ל-100%, מה שמאפשר שליטה טובה באיכות התוצאה. גוף המנורה מתאים לחדרי נקייה מסוג Class 1–100, ואנו אישרנו שאין יצירת חלקיקים בגודל 0.1 מיקרומטר. צפיפות האנרגיה מותאמת כך שהיא תסיר את המים מהמשטח, מבלי לגרום לאובדן של החומרים המשמשים לייבוש, כך שהטמפרטורה נשארת בטווח המותר.
בתהליך ניקוי וייבוש הוופר, המנורה מחממת אותו במהירות ובאופן אחיד – ללא סימנים או עקבות של לחות, עוד לפני שמתחילים את תהליך העבודה עם הפוטורזיסט.
בשלבי החימום של הפוטורזיסט, אותה שליטה תרמית מסייעת לשמור על איכות התוצאה. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהחום מופנה ישירות למשטח הרלוונטי, ולא לחימום האוויר שמסביב.
האמינות של המנורה אושרה בתהליך עבודה 24/7: יותר מ-5,000 שעות עבודה, עם סטייה של פחות מ-5% בהספק, וללא עצירות בלתי צפויות בליניות ייצור בעלות קיבולת גבוהה.
ההתקנה דורשת מערכת הזנת חשמל מיוחדת, וכן בקרה על הטמפרטורה כדי לשמור על האחידות של ±0.1°C. המנורה עובדת בצורה טובה עם האינטרפציות הסטנדרטיות של הציוד, אך חשוב לשמור על המסלול האופטי נקי ממים וטיפות לחות – יש להשתמש במערכות ניקוי או אוורור כדי למנוע שינויים בלחות.
יש לבצע כיול של המנורה כל 1,000 שעות, כדי לשמור על האחידות הנדרשת.