फैब फ्लोर पर, आपको तो पता ही है कि क्या करना है। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 0.3°C का भी अंतर, उत्पादन में गड़बड़ी पैदा कर सकता है; ऐसी स्थिति में बहुत नुकसान हो सकता है। इवेटेक के इवेपोरेटर हीटिंग लैंप, ऐसी समस्याओं को शुरुआत में ही रोकने में मदद करते हैं।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव एनआईआर क्वार्ट्ज एमिटरों का उपयोग करते हैं, जिनका नियंत्रण क्लोज्ड-लूप प्रणाली द्वारा किया जाता है। इससे वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है। प्रतिक्रिया समय 200 मिलीसेकंड से कम है; इससे सेटपॉइंट में तेजी से बदलाव होता है, और ऐसी स्थितियाँ उत्पादन में गड़बड़ी पैदा नहीं करतीं। लैंप का डिज़ाइन क्लीनरूम-अनुकूल है, और कण-नियंत्रण प्रणाली के कारण लंबे समय तक उपयोग करने पर भी संदूषण नहीं होता। 5,000+ घंटों तक लैंप का आउटपुट स्थिर रहता है, एवं तापमान में 5% से अधिक का अंतर नहीं होता।
यह लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में क्यों महत्वपूर्ण है?
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, उचित तापमान ही उत्पादन की गुणवत्ता को निर्धारित करता है। इवेटेक के लैंप, बेकिंग प्रक्रिया को नियंत्रित करने में मदद करते हैं; इससे उत्पादन की गुणवत्ता हर बार समान रहती है। तापमान तेज़ एवं स्थिर होने से प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं प्रति वेफर ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है।
पैकेजिंग लाइनों में इसका क्या लाभ है?
पैकेजिंग लाइनों में भी यही सटीकता पॉलिमरों को सही तरीके से सुखाने में मदद करती है; इससे दोबारा काम करने की आवश्यकता नहीं पड़ती। इससे उत्पादन में गड़बड़ियाँ कम हो जाती हैं, एवं उत्पादन समय भी बढ़ जाता है।
इसे सही तरीके से काम करने हेतु क्या आवश्यक है?
लैंप को इवेटेक इवेपोरेटरों में आसानी से लगाया जा सकता है, लेकिन इसके लिए स्थिर विद्युत आपूर्ति एवं स्वच्छ विद्युत संपर्क आवश्यक हैं। चक की सामग्री एवं उसकी विकिरण क्षमता भी महत्वपूर्ण है – हमारे पास एल्यूमिनियम, सिरेमिक एवं कोटेड सतहों हेतु विशेष निर्देश भी हैं।
त्रैमासिक रूप से कैलिब्रेशन एवं वार्षिक रूप से लैंप की जाँच आवश्यक है। इससे ही उत्पादन में एकरूपता बनी रहती है, एवं कणों की संख्या भी नियंत्रित रहती है।