लिथोग्राफी फ्लोर पर
95°C का सौम्य बेक वैकल्पिक नहीं है - यह विनिर्देश है। यदि आप उस तापमान को ±0.5°C तक भटकने देते हैं, तो फोटोरेसिस्ट प्रोफाइल बदल जाती है। वह लाइन-चौड़ाई नियंत्रण, जिसके लिए आप पसीना बहाते हैं, टूट जाता है। आपको ऐसा ताप चाहिए जो तुरंत पहुँचता है, स्थिर रहता है, और क्लीनरूम में कण नहीं छोड़ता।
अंदर क्या महत्वपूर्ण है हम तेज़ प्रतिक्रिया वाले इन्फ्रारेड हीटर बल्ब चलाते हैं - उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज आवरण के अंदर छोटे-तरंग वाले हलोजन तत्व। ये मिलीसेकंड्स में तापमान पर पहुँचते हैं, जो आपको तंग बंद-लूप नियंत्रण प्रदान करता है। बेक सतह पर वेफर-स्तर की समानता ±0.1°C के भीतर रहती है। फिलामेंट ज्योमेट्री और रिफ्लेक्टर लेआउट को गर्म स्थानों और किनारे के रोल-ऑफ को खत्म करने के लिए व्यवस्थित किया गया है, ताकि हर डाई को समान थर्मल बजट मिले। ये बल्ब क्लास 1-100 क्लीनरूम के लिए बनाए गए हैं, और हम लंबे समय तक चलने के दौरान इन-सीटू मॉनिटरिंग के साथ शून्य कण उत्पादन का सत्यापन करते हैं।
फोटोरेसिस्ट प्रोसेसिंग में यह क्यों टिकता है सौम्य बेक और कठोर बेक दोनों में, पुनरावृत्ति स्कोरबोर्ड है। तेज़ प्रतिक्रिया भिगोने के रैंप को छोटा करती है, इसलिए आप प्रोफाइल नियंत्रण को छोड़े बिना चक्र समय को कम कर देते हैं। क्लीनरूम-संगत सामग्री और ठोस सीलें आउटगैसिंग और संदूषण को बाहर रखती हैं - कण गणनाएँ सपाट रहती हैं, और उपकरण का अपटाइम उच्च रहता है। आप कम ऊर्जा का भी उपयोग करते हैं, क्योंकि हीटर मांग पर ताप प्रदान करता है और बेक के बीच जल्दी ठंडा होता है, थर्मल जड़ता और बर्बादी को कम करता है।
आपको किस चीज़ की योजना बनानी चाहिए स्थापना उपकरण के साथ मेल खाने पर निर्भर करती है: सॉकेट, वोल्टेज, और एपर्चर ज्योमेट्री। यदि रिफ्लेक्टर्स मेल नहीं खाते या फिक्स्चर छोटे होते हैं, तो आप असमानता देखेंगे। एक व्यापारिक समझौते की अपेक्षा करें: पीक पावर घनत्व आपको गति देता है, लेकिन इसके लिए स्थिर शीतलन और स्वच्छ विद्युत संपर्क की आवश्यकता होती है। हम प्रत्येक बल्ब के लिए आयामिक चित्र और कैलिब्रेशन मानचित्र प्रदान करते हैं, ताकि आप पूरे थर्मल स्टैक को फिर से योग्य किए बिना एकीकृत कर सकें।