आईआर सेमीकंडक्टर हीटरों के लिए सही थर्मल डेटा प्राप्त करना
यदि आप एक “स्मार्ट फैब” बना रहे हैं, तो आपको यह समझना आवश्यक है कि केवल “तापमान की जाँच करना” ही पर्याप्त नहीं है। आपको ऐसा डेटा चाहिए जो वास्तव में आपको बता सके कि वेफर पर क्या हो रहा है। हमारे लिए, इसका मतलब है कि विशेष थर्मोकपलों का उपयोग आईआर सिस्टम के साथ करना, ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि लैंप से निकलने वाली ऊष्मा ठीक उसी तरह वेफर की सतह पर पहुँच रही है, जैसा कि आप चाहते हैं।
आईआर सेंसिंग की विस्तारपूर्वक जानकारी
आईआर सिस्टम बहुत ही शक्तिशाली होते हैं; वे ऊर्जा को बहुत तेज़ गति से प्रदान करते हैं। इसके लिए आपको ऐसे थर्मोकपलों की आवश्यकता है जो उतनी ही तेज़ गति से प्रतिक्रिया दे सकें।
डिजिटल सिस्टम में, सेंसर केवल यह ही नहीं बताता कि हीटर कार्यरत है या नहीं; बल्कि यह लगातार वोल्टेज डेटा भी भेजता है, ताकि पावर सर्किटों को आवश्यकतानुसार समायोजित किया जा सके।
लेकिन “थर्मल मास” का ध्यान रखना आवश्यक है। यदि सेंसर बहुत बड़ा है, तो इसकी प्रतिक्रिया धीमी हो जाती है। ऐसी स्थिति में आपका लक्षित तापमान प्राप्त नहीं हो पाता, और इससे वेफर को नुकसान पहुँच सकता है। इसीलिए हम पतले थर्मोकपलों का ही उपयोग करते हैं – ऐसे थर्मोकपलों से प्रतिक्रिया-समय कम रहता है।
डेटा को वास्तव में उपयोगी बनाना
डिजिटल फैब की वास्तविक खूबी यह है कि इससे आपको बहुत ही विस्तृत जानकारी प्राप्त होती है। हम इन सेंसरों को ऐसी प्रणाली में जोड़ते हैं, जो तापमान में होने वाले हर छोटे-बड़े परिवर्तन को रिकॉर्ड करती है।
इसके अलावा, यह आपको यह भी बताता है कि आपके उपकरण कब खराब होने वाले हैं। यदि आप देखें कि सिस्टम वही तापमान प्राप्त करने हेतु सामान्य से अधिक ऊर्जा खपा रहा है, तो आपको पता चल जाएगा कि आपका हीटिंग तत्व खराब हो रहा है। ऐसी स्थिति में आप उसे नियोजित ब्रेक के दौरान ही बदल सकते हैं… न कि उत्पादन प्रक्रिया के दौरान।
संतुलन – क्योंकि कुछ भी परफेक्ट नहीं है
सटीकता हमेशा मुफ्त में नहीं मिलती। वे उच्च-संवेदनशील थर्मोकपल बहुत ही नाजुक होते हैं।
चूँकि आप उच्च-वॉटेज वाले आईआर वातावरण में काम कर रहे हैं, इसलिए सेंसरों पर भी विकिरण का प्रभाव पड़ सकता है। इससे डेटा में त्रुटियाँ आ जाती हैं।
इसलिए आपको अपने वायरों की रक्षा करने हेतु विशेष ध्यान देना होगा। यदि आप ऐसा इन्सुलेशन नहीं चुनते, जो चैंबर के अंदर की ऊष्मा को सह सके, तो वायर पिघल जाएँगे… और आपका डेटा-प्रवाह ठप हो जाएगा।