चूंकि सेमीकंडक्टरों को सुखाने हेतु हम गर्म हवा के बजाय इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग कर रहे हैं…
ईमानदारी से कहें तो, धोने की प्रक्रिया में ही सब कुछ धीमा हो जाता है।
कई वर्षों से गर्म हवा का ही उपयोग किया जा रहा है। लेकिन इसका मतलब है कि वेफर को सुखाने हेतु बड़ी मात्रा में हवा को गर्म करना पड़ता है… यह समय एवं ऊर्जा का दुरुपयोग है।
इसीलिए हमने वॉटरप्रूफ इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग शुरू किया। ऐसे लैंप, कमरे को गर्म करने के बजाय सीधे ही सब्सट्रेट में ऊर्जा भेजते हैं… यह तो एक बिल्कुल ही अलग तरीका है।
समय ही सब कुछ है…
गर्म हवा से काम धीरे-धीरे ही होता है… नमी को बाहर निकालने एवं हवा को गर्म करने में समय लगता है।
जबकि इन्फ्रारेड लैंप तो तुरंत ही अपना काम करते हैं… कुछ ही सेकंडों में ही काम पूरा हो जाता है। जब प्रति बैच में लगने वाला समय कम हो जाता है, तो उत्पादन दर भी बढ़ जाती है… यही कारण है कि अधिक मात्रा में उत्पादन करने वाली फैक्ट्रियाँ इस तकनीक का उपयोग कर रही हैं।
गंदगी से निपटना…
आम तौर पर, इन्फ्रारेड लैंप एवं पानी एक साथ नहीं रह सकते… सामान्य बल्ब तो नम वातावरण में ही खराब हो जाते हैं।
हमने इस समस्या का समाधान करने हेतु सील्ड क्वार्ट्ज आवरणों एवं मजबूत सीलों का उपयोग किया… इससे नमी बाहर रहती है, एवं लैंप भी सुरक्षित रहते हैं। ऐसे में आपको शॉर्ट-सर्किट की चिंता भी नहीं होती… यह तो धोने की प्रक्रिया के दौरान भी काम करता है।
कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य हैं…
यह सब कुछ जादू नहीं है… कुछ समझौते भी आवश्यक हैं।
चूंकि उच्च-तीव्रता वाले इन्फ्रारेड लैंप बहुत तेजी से ऊर्जा उत्पन्न करते हैं, इसलिए ठंडक व्यवस्था भी आवश्यक है… यदि लैंपों की तीव्रता बहुत अधिक हो जाए, तो वेफर की सतह खराब हो सकती है, या आसपास के सेंसर भी खराब हो सकते हैं… यह तो अच्छा नहीं है।
सब कुछ स्थिर रखने हेतु, हम PID कंट्रोलर का उपयोग करने की सलाह देते हैं… इससे वेफर की सतह का तापमान नियंत्रित रहता है… ऐसे में आपको आवश्यक स्थिरता मिलती है, एवं प्रक्रिया भी सही तरीके से चलती है।