Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang membutuhkan kehati-hatian. Air perlu dihilangkan secepat mungkin, tetapi jika prosesnya dilakukan secara berlebihan, maka akan terjadi tekanan mekanis yang merusak komponen-komponen dalam wafer tersebut.
Kami telah menemukan cara untuk mengatasinya, yaitu dengan menggunakan pemanas inframerah yang dikombinasikan dengan reflektor berlapis emas. Tujuannya sederhana: memastikan bahwa panas tersebut benar-benar sampai ke permukaan wafer, bukan hanya membuat bagian dalam mesin menjadi panas saja.
Mengapa emas?
Sebagian besar orang menggunakan reflektor berbahan aluminium, tetapi bahan ini menyebabkan banyak energi inframerah terbuang sia-sia. Kami beralih ke reflektor berlapis emas yang berkualitas tinggi, karena bahan ini sangat efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan begitu, foton-foton yang seharusnya tersebar ke segala arah dapat dialihkan langsung ke permukaan wafer.
Yang paling baik adalah, kita bisa mendapatkan fluks panas yang lebih intens tanpa perlu menggunakan daya listrik yang lebih besar. Cara ini jauh lebih efisien.
Mencapai suhu yang tepat
Dalam dunia MEMS, konsistensi sangat penting. Jika sisi kiri wafer kering lebih cepat daripada sisi kanannya, maka akan terjadi kerusakan pada permukaan wafer. Hal ini tentu merupakan masalah serius.
Kami menghabiskan banyak waktu untuk menyesuaikan geometri reflektor agar tidak ada titik-titik panas yang mengganggu. Lapisan emas membantu menyebarkan panas secara merata ke seluruh permukaan wafer.
Masalah yang mungkin muncul, dan cara mengatasinya
Masalahnya adalah, ketika energi yang digunakan terlalu besar, bagian penyimpan pemanas akan menjadi sangat panas. Anda tidak boleh mengabaikan hal ini. Anda perlu memeriksa kembali kipas pendingin atau sistem pendingin air agar dapat menangani panas yang dihasilkan. Jika aliran udara tidak cukup, elektroda akan overheat, dan umur pemakaian pemanas pun akan berkurang.
Selain itu, pastikan Anda menggunakan kontroler PID yang akurat. Karena sistem berlapis emas bereaksi sangat cepat terhadap perubahan daya, Anda perlu menyetel parameter kontrolnya dengan tepat. Jika tidak, suhu yang dihasilkan akan melebihi batas yang ditentukan.
Setelah semuanya disetel dengan benar, Anda dapat memperpendek waktu pengeringan wafer, sambil tetap menjaga wafer tetap aman. Ini merupakan solusi yang ideal.