Berhentilah menunggu proses pemanasan menggunakan oven konvensional: Mengapa pemanasan IR lebih unggul dalam proses pengolahan semikonduktor
Jika Anda masih mengandalkan sistem pemanasan menggunakan udara panas untuk proses pengolahan semikonduktor yang kompleks, berarti Anda membuang-buang banyak waktu hanya untuk menunggu.
Coba pikirkan bagaimana cara kerja udara panas. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, lalu ruangan tempat proses berlangsung, dan baru setelah itu wafernya. Proses ini sangat lambat. Banyak sekali energi yang terbuang hanya untuk mempersiapkan kondisi lingkungan yang ideal.
Sebaliknya, pemanasan IR tidak memerlukan udara sama sekali. Energi diberikan langsung ke substrat tersebut. Prosesnya cepat dan efisien.
Keuntungan utamanya adalah waktu.
Dengan sistem pemanasan udara panas, proses pendinginan membutuhkan waktu yang lama. Anda harus menunggu beberapa menit agar suhu mencapai titik yang diinginkan. Sedangkan dengan lampu IR, suhu target dapat dicapai dalam hitungan detik saja.
Hal ini sering saya lihat saat proses pengeringan atau pengeluaran gas dari semikonduktor. Dengan menghilangkan fase pemanasan yang panjang tersebut, waktu total yang dibutuhkan untuk menyelesaikan proses menjadi jauh lebih singkat. Anda bisa memproses lebih banyak wafer per jam, tanpa perlu membeli mesin tambahan atau memenuhi ruangan dengan peralatan ekstra.
Namun, Anda tidak bisa begitu saja menggunakan lampu IR tanpa memperhatikan faktor lainnya. Panas yang dihasilkan oleh lampu IR sangat intens. Jika kabel PVC atau silikon digunakan di dekat elemen pemanas tersebut, kabel tersebut akan meleleh atau rusak. Itulah sebabnya kami menggunakan kabel yang dilapisi Teflon. Kabel ini tetap tahan terhadap panas, sehingga tidak akan terjadi korsleting atau kerusakan mendadak saat lampu beroperasi pada kecepatan maksimal.
Namun, ini bukan solusi yang sempurna. Masih ada beberapa hal yang perlu diperhatikan. Udara panas menyebar ke seluruh permukaan benda, sedangkan IR hanya bekerja pada area yang dapat “dilihat” oleh lampu. Jadi, Anda perlu memastikan posisi lampu dan sudut pantulan cahayanya tepat. Jika permukaan benda memiliki celah-celah atau bentuk yang tidak rata, maka akan ada area yang tidak terpanaskan. Dalam kasus seperti itu, Anda mungkin perlu menggunakan sistem pemanasan berbagai sudut atau bahkan sistem hibrida agar semua bagian bisa dipanaskan secara merata.
Memang diperlukan perencanaan yang lebih matang, tetapi kecepatan yang didapatkan akan sepadan dengan usaha yang dilakukan.