マシンを加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。
半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを所定の温度に持っていく必要がありますが、ほとんどの赤外線ランプは、単なる電球のようなもので、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。これは無駄遣いです。さらに悪いことに、装置の筐体が巨大なラジエーターのようになり、近くにいる人々にとって危険です。
そこで、私たちは炭素繊維製の赤外線ランプを採用しました。
実際の動作原理
タングステンやハロゲン線などは不要です。私たちは炭素繊維製の発光体と特殊な反射器を組み合わせて、赤外線エネルギーを狭く集中したビームにしています。まるでスポットライトから手電筒に切り替えるようなものです。熱がチャンバーの壁に散らばる代わりに、直接基板に届きます。その結果、外部の筐体は触っても冷たくなります。これは現場の人々にとって大きな救いです。
デメリット（必ずあるものです）
このランプは高密度の熱を発生させるように設計されています。通常は短波長の放射を行うため、非常に速く温度が上昇します。そのため、占有面積が小さく、応答時間もほぼ瞬時です。
しかし、その強度は両刃の剣です。ビームが非常に狭いため、精度が命です。もし目標位置が数ミリズム誤っているだけでも、ウェーハに熱点ができてしまいます。
取り付けには細心の注意が必要です。取り付けブラケットはしっかりと固定されていなければならず、温度の上昇速度に対応するためにPIDコントローラーの調整も必要です。
設置方法
良いことに、これらのランプを取り替えるのは簡単です。古くて使いにくい従来の加熱要素の代替品として設計されています。
さらに、施設管理者にとってもメリットがあります。装置全体が熱で覆われないため、冷却水システムの負担が減ります。冷却ポンプも休むことができ、内部の電子部品も常に過熱状態になることがありません。
安全で、運用コストも低く、理にかなった方法です。