ウェーハ用高精度IRセンサー
熱の無駄遣いをやめよう:ウェーハをより効率的に加熱する方法
シリコンウェーハを加熱するには、正確さが不可欠です。しかし問題は、一般的な赤外線ランプでは熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。
狭い半導体製造装置内では、その熱はウェーハに留まらず、...
赤外線ランプ用アルミニウム反射板
熱を無駄にしないために:なぜアルミニウム製の反射板が重要なのか
半導体製造工場では、熱というのはまるで手に負えない存在です。必要な場所に正確に熱を送り込むことができなければ、結果的に混乱が生じます。
IRランプを考えてみてください。多くの人は、ランプ自体が全ての仕事をしていると思っていますが、それ...
IRエミッタ用のセラミックエンドキャップ
なぜセラミック製のエンドキャップがIRエミッターにとって重要なのか
スマートファクトリーを構築する際、熱というものは非常に扱いにくいものだということがわかります。単に物を温めるだけでは不十分で、毎秒正確にどれくらいの温度になっているかを把握する必要があります。生産がデジタル化されると、加熱機能は安...
半導体IR用のアンダーフィル硬化
製造現場では、半導体用のアンダーフィルを硬化させる過程で、熱管理と歩留まりという問題が生じます。もし1つのパッケージが十分に硬化されていない状態で出荷されてしまうと、リフロー処理後に層間剥離が発生し、Cpk値も規定範囲を外してしまいます。私たちは、熱分布を厳密に管理するためにNIRを利用したアンダ...