IC용 컴팩트형 적외선 건조기

리소그래피 공정에서 포토레지스트를 건조시키는 작업은 단순한 단계에 불과한 것이 아닙니다. 이는 결코 간과할 수 없는 중요한 열 관리 과정입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 약간의 온도 변동만 있어도 제품의 크기 제어에 문제가 생기고, 웨이퍼의 측면 형태도...