Pada permukaan silikon tersebut, sekadar adanya sedikit kelembapan pun sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan permukaan tersebut. Air yang digunakan haruslah air yang telah disterilkan. Jika kelembapan tidak dapat dihilangkan sepenuhnya, ia akan menyebabkan kontaminasi, dan ini seterusnya akan mengganggu proses pelekatan bahan fotoresist pada permukaan silikon. Kaedah pengeringan konvensional pula akan menyebabkan perbezaan suhu di seluruh permukaan silikon, sehingga merosakkan proses pengeringan yang dilakukan. Selain itu, jika pemanas tersebut tidak stabil, zarah-zarah yang terhasil daripadanya boleh meningkatkan jumlah zarah di bilik bersih melebihi had yang ditetapkan.
Jadi, apa yang boleh kita lakukan? Kami telah mencipta lampu pengeringan air yang menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang terkurung dalam selubung kuarz. Lampu ini berfungsi tanpa sentuhan, memanaskan permukaan dengan cepat, dan masa tindak balasnya adalah dalam masa beberapa saat sahaja.
Keseragaman suhu pada permukaan silikon kekal pada tahap ±0.1°C sepanjang proses pengeringan. Ini memastikan kawalan dimensi bahan fotoresist tetap terjaga. Kuasa yang dihasilkan oleh lampu ini kekal stabil, dari 10% hingga 100%, sehingga memastikan kebolehulangan proses pengolahan fotoresist tetap tinggi. Badan lampu ini sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Kami juga telah mengesahkan bahawa tiada zarah yang dihasilkan, walaupun pada tahap 0.1 μm. Kepadatan tenaga yang dihasilkan pula disesuaikan agar air pada permukaan dapat dikeringkan tanpa menyebabkan kehilangan bahan pelarut dari bahan fotoresist. Dengan cara ini, parameter suhu tetap terkawal.
Dalam proses pembersihan dan pengeringan silikon, lampu ini dapat mengeringkan permukaan dengan cepat dan rata, tanpa meninggalkan kesan buruk pada permukaan silikon sebelum proses pengolahan fotoresist bermula.
Semasa proses pengolahan fotoresist, sistem pengawalan suhu yang sama akan membantu mengurangkan perubahan ketebalan lapisan fotoresist, sekaligus meningkatkan kualiti hasil pengolahan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana haba dialirkan secara langsung ke permukaan yang ingin dipanaskan, bukan ke udara di sekelilingnya.
Kebolehpercayaan lampu ini telah dibuktikan melalui penggunaan 24/7 di kilang-kilang pembuatan: lebih dari 5,000 jam penggunaan dengan perubahan keluaran kurang dari 5%, dan tiada masa henti yang tidak dirancang dalam proses pengeluaran berskala besar.
Untuk pemasangan lampu ini, diperlukan saluran kuasa khusus yang dilindungi, serta sistem pengawalan voltan yang efektif untuk memastikan keseragaman suhu tetap terjaga. Lampu ini juga serasi dengan antaramuka alat-alat standard OEM. Pastikan laluan cahaya bebas daripada lapisan air atau kelembapan; gunakan sistem penyaman udara atau sistem pengudaraan untuk mengelakkan perubahan kelembapan.
Lampu ini perlu dikalibrasi setiap 1,000 jam untuk memastikan kebolehulangan proses pengolahan tetap terjaga.