Memperoleh Data Suhu yang Tepat untuk Pemanas Semikonduktor IR
Jika anda sedang membina fasiliti pengeluaran yang canggih, anda pasti menyedari bahawa sekadar “memeriksa suhu” sahaja tidak mencukupi. Anda memerlukan data yang sebenar untuk mengetahui apa yang berlaku pada wafer tersebut secara masa nyata. Bagi kami, ini bermakna perlu menggunakan termokopel khusus bersama-sama dengan sistem inframerah (IR) agar haba yang dihasilkan oleh lampu benar-benar sampai ke permukaan wafer seperti yang diinginkan.
Butiran mengenai pengesanan suhu menggunakan IR
Sistem IR sangat berkuasa. Ia mampu menghantar tenaga dengan cepat. Untuk memastikan prestasi yang baik, termokopel juga perlu dapat bertindak balas dengan cepat.
Dalam sistem digital, sensor bukan sahaja memberitahu sama ada pemanas sedang berfungsi atau tidak. Ia juga sentiasa menghantar data voltan kepada PLC untuk menyesuaikan kitaran kuasa secara dinamik.
Namun, perlu berhati-hati dengan masalah “massa termal”. Jika sensor terlalu besar, ia akan lambat bertindak balas. Dalam bisnes ini, kelewatan ini boleh menyebabkan suhu melebihi tahap yang ditetapkan. Itulah cara wafer rosak. Itulah sebabnya kami menggunakan termokopel yang ringan – ia memastikan masa tindak balas yang cepat.
Menggunakan data tersebut dengan efektif
Kelebihan utama fasiliti pengeluaran yang digital adalah ketepatan data yang diperoleh. Kami sambungkan sensor-sensor ini ke sistem yang merekod setiap perubahan suhu yang berlaku.
Selain itu, ia juga membolehkan anda mengetahui bila komponen pemanas mula rosak. Jika sistem menggunakan lebih banyak tenaga untuk mencapai suhu yang sama seperti biasa, ini bermakna komponen pemanas sudah rosak. Anda boleh menukar komponen tersebut semasa waktu rehat yang telah ditetapkan, daripada menghadapi masalah besar semasa proses pengeluaran.
Kompromi yang perlu dihadapi (kerana tiada yang sempurna)
Ketepatan bukanlah sesuatu yang boleh didapatkan tanpa kos. Termokopel yang sangat sensitif itu sebenarnya mudah rosak.
Oleh kerana anda bekerja dalam persekitaran IR yang mempunyai kuasa tinggi, sensor itu sendiri boleh terkena kesan haba yang kuat. Ini menyebabkan bacaan suhu menjadi tidak tepat.
Anda perlu berhati-hati dalam memilih bahan pelindung untuk kabel sensor. Jika bahan pelindung tersebut tidak cukup kuat untuk menahan haba di dalam bilik tersebut, kabel tersebut akan cair. Akibatnya, aliran data akan terganggu, dan anda akan kehilangan maklumat penting.