Op het lithofLOOR is één enkele watervlek al voldoende om een hele batch te verpesten. Het is belangrijk om het gedesinfecteerde water goed te drogen; als de vochtigheid niet goed wordt verwijderd, kan dit leiden tot contaminatie – en daarmee ook tot een slechte hechting van de fotoresistent. Convencionele droogmethoden zorgen voor thermische verschillen op het wafer, waardoor de gewenste temperatuurverdeling niet wordt behouden. Bovendien kunnen de elementen die bij deze methoden worden gebruikt, de concentratie deeltjes in de schone ruimte verhogen tot boven de toegestane waarde.
Wat kunnen we dan doen? We hebben een lamp ontworpen die gebruikmaakt van kortegolfinfraroodstraling, opgesloten in een kwartsomhulsel. Hierdoor wordt er geen contact gemaakt met het materiaal, wordt het snel verwarmd en reageert de lamp in minder dan een seconde.
De thermische uniformiteit op het wafer blijft binnen ±0,1°C, zodat je de benodigde controle over de afmetingen van de fotoresistent behoudt. De uitgangsspanning blijft constant, van 10% tot 100%, waardoor de repetitiebaarheid van de processen behouden blijft. De lamp is geschikt voor schone ruimtes van klasse 1–100. We hebben vastgesteld dat er geen deeltjes worden geproduceerd bij een grootte van 0,1 μm. De vermogensdichtheid is zo ingesteld dat het oppervlaktevocht wordt verwijderd, zonder dat er solventen uit de fotoresistent komen. Hierdoor blijft de thermische balans binnen de gewenste grenzen.
Tijdens het reinigen en drogen van het wafer werkt deze lamp snel en gelijkmatig – er zijn geen strepen of oneffenheden die achterblijven voordat de fotoresistent wordt verwerkt.
Tijdens de verwerking van de fotoresistent zorgt deze lamp ervoor dat er minder afwijkingen optreden en dat de opbrengst verbetert. De energieverbruik neemt af, omdat de warmte rechtstreeks naar het doelwit gaat, in plaats van de omringende lucht op te warmen.
De betrouwbaarheid van deze lamp is bewezen in 24/7 productieomstandigheden: meer dan 5.000 uur gebruik zonder meer dan 5% afwijking in de uitgangsspanning, en geen ongeplande stilstand in productielijnen met hoge productiekosten.
Voor de installatie is een gescheiden stroomvoorziening nodig, samen met een systeem dat de thermische uniformiteit van ±0,1°C behoudt. De lamp past zich goed aan bij standaard OEM-interfaceën. Zorg er echter voor dat er geen water of condensatie op het optische pad komt – gebruik een zuigsystem of lokale ventilatie om vocht te vermijden.
Het is belangrijk om de emitters iedere 1.000 uur te kalibreren, zodat de repetitiebaarheid behouden blijft.