Op de productielijn is drogen niet zomaar een stap die wordt uitgevoerd na het reinigen. Het gaat erom dat overtollige vocht en oneffenheden in de temperatuur invloed hebben op de kwaliteit van de lithografische laag en op het profiel van de fotoresist. Wanneer de oven de gewenste temperatuur niet kan behouden, ontstaan er problemen aan de randen van het product, en kan de kwaliteit van het product verslechteren. Dit leidt tot afval, herwerking en extra energieverbruik.
Wat er echt toe doet We ontwikkelen het droogsysteme zodat de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer gelijkmatig is. Het doel is een temperatuursverschil van ±0,1°C tijdens zowel het zachte als het harde drogen. De verwarming vindt plaats met kortegolf-infraroodlicht, waardoor er een snelle en effectieve verwarming optreedt, zonder dat de temperatuur te hoog wordt. De compatibiliteit met schoonruimtes wordt geregeld volgens de standaarden van klasse 1–100. We controleren ook of er geen deeltjes worden geproduceerd, door middel van in-situ monitoring. Het systeem werkt 24/7, zonder onverwachte stilstanden. Er wordt ook gebruik gemaakt van predictieve onderhoudsmethoden om de levensduur van de lampen en de thermische parameters te bepalen. We registreren ook het energieverbruik per batch, zodat je kunt zien hoeveel kWh er per wafer wordt verbruikt en dit rechtstreeks kunt koppelen aan de kwaliteit van het product.
Dit is belangrijk omdat het de productiekwaliteit behoudt en de productielijn stabiel houdt. Goede thermische controle zorgt voor een goede kwaliteit van de fotoresist, verminderd aantal defecten aan de randen en houdt de parameters binnen de vereiste grenzen. De energiegegevens maken het mogelijk om het droogproces als een gecontroleerde procesvariabele te behandelen: minder herwerkingen, kortere cycli en minder energieverbruik. Ook wordt de thermische balans tussen de verschillende wafers behouden, waardoor de kwaliteit van het product verbetert.
Het is gemakkelijk om het systeem aan te passen, maar je moet ervoor zorgen dat de configuratie van het systeem overeenkomt met de behoeften van je productielijn. Er is vaak weinig tijd nodig om de parameters in te stellen. Het is belangrijk om rekening te houden met de koelprocedure wanneer je overstapt van lage temperaturen naar hogere temperaturen. Zonder deze procedure kan er sprake zijn van thermische schokken, wat kan leiden tot microcontaminatie. Plan de luchtcirculatie en de afvoer van het systeem van tevoren goed – de compatibiliteit met schoonruimtes en de reproducibiliteit hangen af van deze aspecten.