Na podłożu litograficznym wystarczy jedna kropla wody, by zniszczyć cały materiał do produkcji. Należy używać wody oddejonizowanej, a jeśli nie usuniemy z niej całkowicie wilgoci, doprowadzimy do zanieczyszczeń – co oznacza koniec z dobrą przyczepnością farby fotolitograficznej. Tradycyjne metody suszenia powodują powstanie gradientów temperatur na płytkach krzemowych, co zakłóca procesy obróbki. A jeśli grzejniki nie są wystarczająco stabilne, ich cząsteczki mogą sprawić, że poziom cząstek w pomieszczeniu przekroczy dopuszczalne wartości.
Co więc możemy z tym zrobić? Stworzyliśmy lampę do suszenia wody oddejonizowanej, w której znajdują się emiterzy krótkofalowego promieniowania podczerwonego zamknięte w otulinie z kwarcu. Dzięki temu suszenie odbywa się bez kontaktu, jest szybkie, a reakcja lampy następuje w czasie poniżej sekundy.
Równomierność temperatury na płytkach krzemowych wynosi ±0,1°C w całym oknie procesowym, dzięki czemu zachowujemy kontrolę nad wymiarami farby fotolitograficznej. Wydajność lampy pozostaje stała w zakresie od 10% do 100%, co zapewnia wysoką powtarzalność procesu. Korpus lampy nadaje się do użytku w pomieszczeniach klasy 1–100, a my potwierdziliśmy brak żadnych cząstek o wielkości 0,1 μm. Gęstość mocy lampy jest tak dostosowana, aby usunąć wodę ze powierzchni, bez utraty rozpuszczalnika z farby, dzięki czemu temperatura pozostaje w normie.
Podczas czyszczenia i suszenia płytek krzemowych lampa sprawia, że suszenie odbywa się szybko i równomiernie – bez smug czy nagromadzeń wody na krawędziach płytek, zanim jeszcze rozpocznie się proces obróbki farby fotolitograficznej.
Podczas procesu wypalania farby fotolitograficznej ta sama kontrola temperatury minimalizuje błędy i poprawia efektywność procesu. Zużycie energii jest niskie, ponieważ ciepło trafia bezpośrednio do celu, a nie służy do ogrzewania otaczającego gazu.
Niezawodność lampy została udowodniona w warunkach ciągłej pracy: ponad 5 000 godzin pracy przy odchyleniu wydajności poniżej 5%, oraz braku przerw w produkcji na liniach o dużych natężeniach pracy.
Montaż lampy wymaga dedykowanego, osłoniętego źródła zasilania oraz regulacji napięcia, aby zachować równomierność temperatury na poziomie ±0,1°C. Lampa dobrze współpracuje z standardowymi interfejsami urządzeń OEM, ale należy unikać obecności warstw wody i kondensatu na drodze światła – należy używać systemów odsysania wilgoci, aby uniknąć cykli wilgotności.
Zaleca się kalibrację emiterów co 1 000 godzin, aby utrzymać pożądaną powtarzalność procesu.