Na linii montażowej, podczas utwardzania materiału wypełniającego szczeliny w półprzewodnikach, dochodzi do konfliktu pomiędzy wymaganiami termicznymi a efektywnością produkcji. Jeden z elementów może nie zostać dostatecznie utwardzony, co skutkuje rozdzieleniem się poszczególnych warstw po procesie odparowania cieczy – wtedy wartość Cpk wykracza poza dopuszczalne normy. Stworzyliśmy system utwardzania materiału wypełniającego przy użyciu światła FIR, aby utrzymać stabilny profil termiczny; dzięki temu każdy element przejdzie procedurę sprawdzania niezawodności bez żadnych problemów.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia?
Utrzymuje się jednolitość temperatury na poziomie wafera na wartości ±0,1°C w całej strefie utwardzania materiału wypełniającego, a ta wartość pozostaje stała nawet po kolejnych rundach produkcji. Energia emitowana przez światło NIR szybko dociera do elementów, co umożliwia ich utwardzenie bez uszkodzenia podłoża. Dzięki temu obciążenie termiczne pozostaje w granicach dopuszczalnych. System pracuje 24/7 bez wytworzenia żadnych cząstek, a jego działanie odpowiada standardom sal czystości klasy 1–100. Kontrola temperatury jest na poziomie oczekiwanym przy procesach typu „soft bake” i „hard bake” – integralność fotorezystu pozostaje nienaruszona, a krytyczne wymiary elementów nie zmieniają się.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się przy masowej produkcji? Szybkość utwardzania materiału wypełniającego determinuje tempo produkcji. Światło NIR skraca czas realizacji procesu, nie pogarszając przy tym przyczepności lub kształtu elementów. Tak duża jednolitość temperatury redukuje ilość odpadów i konieczności ponownego przetwarzania produktów. Zużycie energii jest niskie, ponieważ proces utwardzania jest szybki i precyzyjny. Powtarzalność procesu zapewnia stabilność wskaźnika OEE. Od etapu przygotowania wafera do finalnego opakowania uzyskujemy spójną przyczepność elementów, przewidywalną wartość CTE oraz mniej awarii podczas procesów termicznych.
Krótko mówiąc: utwardzanie materiału wypełniającego przy użyciu światła NIR jest skuteczne i efektywne. W przypadku skomplikowanych geometriach konieczny jest inteligentny projekt urządzeń lub dodatkowy etap utwardzania. Proces konfiguracji jest szybki – wystarczy dostosować profil lampy, prędkość przenośnika oraz emisję światła NIR. Po takim dostosowaniu proces może być stosowany przy różnych rodzajach produktów. Jeśli jednak zmienisz skład materiału wypełniającego, konieczne będzie ponowne dostosowanie parametrów procesu.