Почему инфракрасное нагревание лучше горячего воздуха для обработки пластин
Если вы до сих пор используете горячий воздух для глубокой обработки полупроводников, скорее всего, вы тратите слишком много времени на ожидание. Переход на инфракрасное нагревание – это не просто „современный улучшенный вариант“. Речь идет о том, чтобы не терять время, необходимое для выполнения работы.
Проблемы, связанные с использованием горячего воздуха
Подумайте о том, как работает горячий воздух. Фанаты перемещают нагретый воздух по комнате, в надежде, что он достигнет пластины и передаст достаточно энергии для ее обработки. Этот процесс медленный; есть задержка. Это похоже на попытку отогреть комнату с помощью фената – вы тратите много усилий лишь на перемещение воздуха.
Инфракрасное излучение работает иначе. Это электромагнитное излучение, которое передается со скоростью света и напрямую воздействует на пластину. Время необходимое для нагрева сокращается с минут до секунд. Это огромная разница.
Устранение проблем, связанных с временем
На производственной линии время имеет решающее значение. Именно здесь часто возникают проблемы. С использованием инфракрасных ламп можно получить точечное нагревание. Не нужно тратить энергию на нагрев всей камеры лишь для того, чтобы одна пластина достигла нужной температуры. Благодаря этому контроллеры PID могут быстрее достигать заданных значений температуры.
Обычно мы используем кратковолновое или средневолновое инфракрасное излучение. Почему? Потому что нам нужна энергия, которая будет воздействовать на сам материал пластины, а не только на ее поверхность.
Ограничения использования инфракрасного нагревания
Нельзя просто заменить обычный нагреватель на инфракрасный. Инфракрасное излучение имеет определенное направление. Если положение лампы неправильное или пластина неровная, возникают места с чрезмерным нагревом. Необходимо точно контролировать фокусировку. Кроме того, поскольку инфракрасное излучение передается очень быстро, система охлаждения должна быть эффективной. Если она не справляется с такими резкими изменениями температуры, пластины могут деформироваться.
Что это значит на практике
Факты говорят сами за себя: использование горячего воздуха – это расточительство. Вы тратите деньги на нагрев воздуха, который даже не касается вашего продукта. Переход на инфракрасное нагревание позволяет сократить размеры оборудования и ускорить процесс обработки. Если вы хотите обрабатывать больше пластин без покупки дополнительного оборудования, это именно тот способ.