Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в процессе сушки полупроводников
Честно говоря, именно на этапе промывки все замедляется. На протяжении многих лет для сушки кристаллов использовался горячий воздух. Но это означает необходимость нагревания огромного объема воздуха лишь для того, чтобы подсушить кристалл. Это кажется пустой тратой времени и энергии. Поэтому мы перешли на использование водонепроницаемых инфракрасных ламп. Вместо нагрева всей комнаты эти лампы направляют энергию прямо на поверхность кристалла. Это совершенно другой подход к решению задачи.
Время – ключевой фактор
Горячий воздух действует медленно: ему нужно время, чтобы вывести влагу и нагреть воздух. Инфракрасные лампы же действуют мгновенно – речь идет о секундах, а не минутах. Если уменьшить время обработки одной партии продукции, производительность значительно возрастает. Именно поэтому предприятия, стремящиеся увеличить объемы производства, переходят на использование таких ламп.
Проблемы с влагой
Обычно инфракрасные лампы не совместимы с водой. Обычные лампы сгорают сразу при контакте с влажной средой или при попадании капель воды на них. Мы решили эту проблему с помощью герметичных кварцевых корпусов и надежных уплотнителей. Это позволяет предотвратить попадание влаги внутрь лампы и защитить ее элементы. Таким образом можно получить высокую интенсивность тепла без риска возникновения короткого замыкания из-за воды.
Некоторые нюансы
Это не совсем идеальное решение – есть свои недостатки. Из-за высокой интенсивности излучения инфракрасных ламп необходимо правильно контролировать температуру. Если перегрузить лампы, это может привести к деформации креплений или повреждению соседних датчиков. Чтобы избежать этого, рекомендуется использовать контроллер PID для регулировки мощности ламп. Это позволяет сохранять стабильную температуру на поверхности кристалла.