บนสายการผลิต งบประมาณความร้อนของเวเฟอร์ถูกกำหนดไว้ตายตัว จุดร้อนหนึ่งจุดในระหว่างการเบิร์นอิน และกลไกความล้มเหลวจะเล็ดรอดเข้าสู่ข้อมูลแทนที่จะถูกบังคับออก เราจึงได้พัฒนาหลอดไฟให้ความร้อนสำหรับการทดสอบเบิร์นอินเวเฟอร์ขึ้นมาเพื่อกำจัดความไม่ชัดเจนนั้น
สิ่งที่สำคัญภายใต้การทำงาน
เราใช้หลอดปล่อยแสงควอตซ์-ฮาโลเจนในช่วงใกล้อินฟราเรด (NIR) ที่ปรับจูนให้ให้ความร้อนแบบรวดเร็วและมีทิศทาง จากนั้นจึงปิดวงจรควบคุมเพื่อให้ค่าตั้งจุดอุณหภูมิอยู่ภายใน ±0.1°C ซึ่งช่วยรักษาความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ในโปรไฟล์ความร้อนที่เข้มงวดโดยไม่มีการเกินอุณหภูมิที่อาจทำลายชั้นซ้อนต่างๆ ชุดประกอบนี้พร้อมใช้งานในห้องคลีนรูมสำหรับคลาส 1–100 ด้วยวัสดุที่ปล่อยก๊าซต่ำ จุดต่อเชื่อมปิดผนึก และการออกแบบควบคุมฝุ่นละอองที่ป้องกันการปนเปื้อนบนเวเฟอร์ คุณจะได้ผลลัพธ์ที่ทำซ้ำได้ตลอด 24 ชั่วโมงต่อวัน 7 วันต่อสัปดาห์ พร้อมข้อมูล MTBF และช่วงเวลาบริการที่บันทึกไว้อย่างเป็นระบบเพื่อให้การวางแผนไม่สะดุด
เหตุผลที่วิธีนี้เหมาะกับกระบวนการ
ขั้นตอนเบิร์นอินและเบก—เบกแบบนิ่ม เบกแบบแข็ง และการบ่มหลังการประมวลผล—ไม่ได้ต้องการแค่ความร้อน แต่ต้องการการส่งมอบอุณหภูมิที่ทำซ้ำได้ ทำให้ได้โปรไฟล์ที่สม่ำเสมอระหว่างสายการผลิต ลดงานแก้ไข และลดการเบี่ยงเบนที่เกิดจากการลอยของอุณหภูมิ พลังงานลดลงเนื่องจาก NIR ให้ความร้อนโดยตรงกับเป้าหมาย และเวลาวงจรสั้นลงเมื่อการเร่งอุณหภูมิและการทำความเย็นถูกควบคุม ในงานที่เกี่ยวข้องกับลิโธกราฟี หลอดเดียวกันนี้รองรับหน้าต่างการอบโฟโต้เรซิสต์ด้วยขอบเขตควบคุมที่เข้มงวดมากขึ้น ส่งผลให้ผลผลิตดีขึ้นโดยไม่ต้องเปลี่ยนอุปกรณ์ติดตั้ง
สิ่งที่ต้องวางแผน
หลอดทำงานได้ดีเมื่อแผงปล่อยแสงตรงกับรูปทรงของชัคและมวลความร้อน การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจัดแนวแสงที่แม่นยำและความสามารถในการระบายความร้อนที่ได้รับการตรวจสอบ หากไม่มีการระบายความร้อนที่เพียงพอ แบนด์วิดท์การควบคุมจะลดลงและความสม่ำเสมอจะเสียหาย การเริ่มใช้งานรวดเร็ว และจากจุดนั้นคุณจะได้กระบวนการที่เสถียรซึ่งสามารถบันทึกและเตรียมพร้อมสำหรับการตรวจสอบได้อย่างต่อเนื่อง