Litografi işlemlerinde, fotoresistin ısıtılması sadece bir adım değil; aynı zamanda göz ardı edilemeyecek bir termal süreçtir. Yumuşak veya sert ısıtma işlemlerinde meydana gelen yarım derecelik bir sapma bile, kritik boyut kontrolünüzü bozar ve yan duvar profillerini etkiler. Geleneksel fırınlar, yüksek termal kütle, yavaş ısıtma hızları ve parçacık oluşumu riskleri gibi sorunlara neden olur. IC için tasarlanan bu kompakt kızılötesi kurutucu ise bu sorunları ortadan kaldırmak için üretilmiştir.
Önemli olan detaylar
Kısa dalga boylu, halojen içermeyen tasarıma sahip yakın kızılötesi (NIR) ısıtıcılar kullanılır; böylece enerji doğrudan waferin üzerine aktarılır. Bu sayede 10 saniyenin altında bir stabilizasyon sağlanır ve waferin her bölgesinde sıcaklık farkı ±0,1°C civarındadır. Her işlem arasındaki sıcaklık tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C civarındadır; böylece fotoresist işleminin hassasiyeti korunmuş olur. Bu cihaz, sınıf 1–100 temiz odalarına uygun şekilde tasarlanmıştır; kapalı kuvars pencerelere ve parçacık oluşumunu sıfıra indiren bir havalandırma sistemine sahiptir. Kontrol işlemleri PID ile yapılır ve SECS/GEM standardına uyumludur; böylece işlem parametrelerini kolayca ayarlayabilirsiniz.
Neden bu cihaz uygun?
200 mm ve 300 mm boyutundaki waferler kullanılıyor ve termal toleranslar oldukça düşük. Bu kurutucu hızlı bir şekilde ısıtma işlemini gerçekleştirir ve boşa harcanan enerjiyi azaltır. Ayrıca, track tool’lara veya bağımsız istasyonlara kolayca entegre edilebilir ve yer kaplaması da oldukça azdır. Daha az atık üretimi, daha düzenli bir CD dağılımı ve planlanabilir bir verimlilik elde edilir. Cihazın güvenilirliği on binlerce ısıtma döngüsü boyunca devam eder; ısıtıcıların ömrü de 24/7 çalışma koşullarını destekler ve önleyici bakım sürelerini kısaltır.
Detaylar
NIR ışınları hızlı bir şekilde ısıtır; bu da termal bağlantılara dikkat etmek gerektiği anlamına gelir. Chuck’un waferin arka yüzeyiyle uyumlu olması gerekir; biz hem standart hem de özel chuck’lar sağlarız ki temas tekrarlanabilir olsun. Belirli bir fotoresist türü için ısıtma hızlarını ve sapmaları ayarlamak için kısa bir test süreci gereklidir. Gerekli olan enerji kaynakları ise 110–240 V elektrik, basınçlı hava ve egzoz sistemidir; ancak montajdan önce yerel voltaj ve temiz oda basıncını kontrol etmek önemlidir.