İletken hatlarda, ısı dağılımının kontrolü büyük önem taşır. Epoksi kalıp malzemesi kururken bir nokta aşırı ısınabilir; foto dirençlerin ısıtılması sırasında ise başka bir sorun ortaya çıkabilir. Bu durumda hat genişliğinin ve yüzey düzlemlerinin kontrolü zorlaşır. Isıtıcı, her bir çip için, her parti için ve her vardiya boyunca tutarlı bir sıcaklık sağlamalıdır.
Asıl önemli olan şeyler
Fan-out WLP ısıtıcılarını, kısa dalga boylu kızılötesi halojen kuvars vericiler kullanarak tasarladık. Bu yöntem sayesinde hızlı ısıtma sağlanır ve böylece ısı kontrolü daha kolay hale gelir. Aktif bölgede ±0,1°C’lik bir düzenlilik elde edilir; bu değerler, termokupllerle ölçülür. Tepki süresi saniyeler içindedir; bu da hassas kontrollerin yapılmasında önemlidir. Temiz oda sınıfı 1–100, düşük gaz salınımı ve sabit çalışma koşullarında hiçbir parçacık oluşmaması sayesinde sağlanır. Sahada ise 24/7 çalışır ve bakım aralıkları binlerce saat arasındadır.
Üretimde neden başarılı oluyor?
Isı dağılımı işleminde, önce foto dirençler ısıtılır, ardından underfill malzemesi kurutulur ve son olarak yüzeyler yeniden eritilir. Her adım, ürün kalitesini etkileyen bir faktördür. İşıtıcı, kritik boyutların belirlenen standartlarda kalmasını ve underfill boşluklarının en aza indirgenmesini sağlar. Yüksek düzenlilik sayesinde Wafer kenarlarındaki hatalar azalır ve partiler arası transferler daha kolay hale gelir. Kuvars vericilerin doğrudan hedef alanı ısıtması sayesinde enerji tüketimi azalır. Böylece her waferden daha fazla kaliteli çip elde edilir, yeniden işleme gereksinimleri azalır ve üretim süresi planlanabilir hale gelir.
Önceden dikkat edilmesi gerekenler
Isıtıcı, mevcut kaplama/ısıtma sistemlerine monte edilebilir; ancak montaj yeri ve boyutları cihaza uygun olmalıdır. EMI’ye duyarlı bölgeler için özel güç kaynakları ve koruma sistemleri gereklidir. Sıcaklık ayarları 250°C’nin üzerine çıktığında, kuvars ve seramik arayüzlerine dikkat edilmelidir. Entegrasyon işlemi erken planlanmalıdır ki süreç daha hızlı ilerleyebilsin.