Neden yarı iletkenlerin kurutulmasında sıcak hava yerine kızılötesi ışıklar kullanıyoruz?
Dürüst olalım: Yıkama aşaması genellikle her şeyin yavaşladığı andır. Yıllardır yaygın olarak kullanılan yöntem sıcak hava dolaşımıdır. Ancak bu yöntemde aslında devasa bir hava kümesini ısıtarak wafer’ın kurumasını sağlamaya çalışılır. Bu da zaman ve enerji israfı anlamına gelir.
İşte bu yüzden su geçirmez kızılötesi ışıklara geçtik. Bu ışıklar odayı ısıtmak yerine enerjiyi doğrudan yüzeye gönderir. Bu, fiziği tamamen farklı bir şekilde kullanmak demektir.
Zaman meselesi
Sıcak hava yavaştır. Nemin uzaklaştırılması ve havanın ısınması gerekiyor; ancak bu süreç oldukça uzun sürer. Kızılötesi ışıklar ise hedefe anında ulaşır. Burada söz konusu olan saniyelerdir, dakikalar değil. Her parti başına harcanan zaman azaldığında üretim hızı artar. İşte bu yüzden daha yüksek hacimlerde üretim yapan firmalar bu yönteme geçiyor.
Karmaşayla başa çıkma
Genellikle kızılötesi ışıklar ile su bir araya gelmez. Standart ampuller nemli ortamlarda veya yıkama işlemi sırasında meydana gelen su sıçramaları sonucunda hemen bozulur. Biz bunu mühürlü kuvars kaplamalar ve sağlam kapaklar kullanarak çözdük. Böylece nem dışarıda kalır ve filaman zarar görmez. Kısa dalga ısı yoğunluğundan yararlanabilirsiniz, ancak su sıçraması gibi durumlardan endişelenmenize gerek kalmaz.
Dikkat edilmesi gereken bazı noktalar
Her şey mükemmel değil; bazı dezavantajlar var. Yüksek yoğunluktaki kızılötesi ışıklar çok hızlı ısı ürettiğinden, soğutma sisteminin iyi ayarlanması gerekiyor. Eğer lambaların gücünü fazla artırırsanız ve etrafındaki sıcaklığı kontrol etmezseniz, braketler deform olabilir veya yakındaki sensörler zarar görebilir. Bu pek de ideal değil. İşleri stabil tutmak için gücü ayarlamak için PID kontrol cihazları kullanılmasını öneriyoruz. Böylece wafer’in yüzey sıcaklığı hedef sıcaklığı aşmaz. Hızı korurken, işlemin kontrolden çıkmasını engelleyebilirsiniz.