Aşağıda, “Bölgelendirilmiş” sınıflandırma terimini kullanan sayfaları bulacaksınız. Gelişmiş wafer fabrikası için zonlu ısıtma On litografi katında, fotoresist yumuşak pişirme sırasında 0.3°C’lik bir değişim, çizgi genişliği sapmasını aşındırma boyunca ve doğrudan verim... Read more...
Gelişmiş wafer fabrikası için zonlu ısıtma On litografi katında, fotoresist yumuşak pişirme sırasında 0.3°C’lik bir değişim, çizgi genişliği sapmasını aşındırma boyunca ve doğrudan verim... Read more...
