Під час процедури редистрибуції сигналу ключовим фактором є контроль температури. Єдиний „точка нагріву“ під час затвердіння епоксидного компаунда, ще один фактор – це зміни температури під час обробки фотополімеру. У таких умовах необхідно контролювати ширину ліній та рівність поверхні елементів. Нагрівач мусить забезпечувати стабільну температуру – для кожного елемента, кожної партії продукції, кожної зміни.
Що насправді має значення
Ми створили нагрівач типу WLP на основі короткочастотних інфрачервоних галогенових кварцових емітерів. Це дозволяє швидко нагріти поверхню, що допомагає контролювати температуру. У активній зоні досягається однорідність температури ±0,1°C, що вимірюється на чистому кремнії за допомогою термопар. Час реакції нагрівача становить кілька секунд, що є важливим під час точного контролю температури під час обробки. Умови класу 1–100 для чистих приміщень досягаються завдяки конструкції, яка зменшує викиди газів та запобігає утворенню частинок під час роботи. У умовах виробництва нагрівач може працювати 24/7, без необхідності технічного обслуговування протягом тисяч годин.
Чому цей нагрівач підходить для виробництва
Під час процедури редистрибуції сигналу спочатку обробляється фотополімер, потім затверднюється наповнювач, а потім розплавлюються елементи. Кожен з цих кроків є важливим для отримання якісної продукції. Нагрівач стабілізує температурний профіль, що дозволяє зберігати критичні параметри в межах допусків та мінімізувати порожнини в наповнювачі. Висока однорідність температури допомагає зменшити кількість бракованих елементів, а можливість повторного використання нагрівача полегшує процес переходу від однієї партії продукції до іншої. Використання енергії зменшується, оскільки кварцові емітери нагрівають лише потрібну область, а не всю камеру. У результаті отримуємо більше якісних елементів на одному пластині, менше необхідності у корекціях, а також можливість планувати час роботи обладнання.
Що потрібно врахувати з самого початку
Нагрівач може бути встановлений у існуючі устаткування для нанесення матеріалів та обробки, але розміри та форма нагрівача мають відповідати характеристикам цього устаткування. Також потрібен окремий джерело живлення та захист від електромагнітних перешкод у зонах, чутливих до цих перешкод. Коли температура перевищує 250°C, необхідно звернути увагу на місця з’єднання кварцу та кераміки – ми надаємо криву зниження потужності нагрівача в залежності від температури. Якщо планувати інтеграцію нагрівача заздалегідь, процес буде простішим.