На етапі обробки пластини допускається зміна температури на рівні 0,5°C під час процедури випалювання фотоголюфки – цього достатньо, щоб зіпсувати всю партію продукції. Тепловий баланс на рівні пластини є критичним параметром; ми спроектували систему нагріву з урахуванням саме цього факту.
З технічної точки зору важливо наступне: наша сітка випромінювачів у наближеному інфрачервоному діапазоні забезпечує однаковість температури на рівні пластини в межах ±0,1°C по всій активній зоні. Повторюваність значень температури залишається на рівні ±0,2°C між окремими партіями продукції. Швидкість зміни температури становить 10°C/с без перевищення заданих значень, тож тепловий профіль під час процедур м’якого та жорсткого випалювання залишається стабільним. Система призначена для використання в умовах чистих приміщень класу 1–100; гаряча зона розроблена так, щоб не створювати жодних частинок, що дозволяє зберігати рівень забруднення поверхні на рівні менше 1 частинки на пластину. Система працює без перерв протягом понад 50 000 годин, а стабільність її роботи зберігається протягом понад 5 000 годин з допуском зміни інтенсивності випромінювання менше 5%.
У процесі літографії така точність має вирішальне значення для якості продукції. Профілі фотоголюфки залишаються в заданих межах, контроль критичних розмірів покращується, а кількість необхідних корекцій зменшується. Використання енергії зменшується завдяки налаштуванню параметрів випромінювання відповідно до характеристик поглинання фотоголюфки, що дозволяє зменшити кількість теплової енергії, що витрачається на обробку однієї пластини, без зниження швидкості її обробки. Надійність системи означає менше несподіванок: модулі для нанесення та випалювання фотоголюфки продовжують працювати без перерв, зміна за зміною.
Ось практичні деталі щодо використання системи. Для ефективного функціонування системи необхідний прямий видимий зв’язок між випромінювачем та пластиною, а також контрольований оптичний шлях. Відбивні елементи та захисні конструкції повинні відповідати спектру випромінювання випромінювача – інакше можуть виникнути „гарячі точки“. Для правильної роботи системи необхідне окреме живлення та теплоізоляція від сусідніх модулів. Крім того, гаряча зона потребує профілактичного обслуговування кожні 8 000 годин, щоб зберегти необхідний рівень однорідності температури.
Необхідно передбачити короткий період налаштування системи відповідно до вашого технологічного процесу. Система буде ефективно працювати лише тоді, коли весь комплекс елементів – випромінювач, датчик та контролер – буде налаштований правильно щодо пластини.