Як осушити пластини MEMS без проблем
Осушення пластин датчиків MEMS – це справжній виклик. Необхідно, щоб вода швидко зникала, але якщо діяти занадто агресивно, це може призвести до механічних пошкоджень та зіпсованих елементів.
Ми знайшли спосіб вирішити цю проблему за допомогою інфрачервоних нагрівачів у поєднанні з відбивачами, покритими золотом. Мета проста: забезпечити правильне розподілення тепла на поверхні пластини, а не лише нагрівати внутрішню частину пристрою.
Чому саме золото?
Більшість людей використовують алюмінієві відбивачі, але вони втрачають багато інфрачервоної енергії. Це просто марна трата енергії. Ми вирішили використовувати відбивачі з високочистим золотим покриттям – воно чудово відбиває близькочервоне світло. Це означає, що фотони, які інакше розсіювалися у просторі, потрапляють прямо на поверхню пластини.
Найкраще те, що таким чином досягається значно більш інтенсивний потік тепла, без необхідності підвищувати потужність електропристрою. Це просто ефективніше.
Як досягти оптимального рівня тепла
У світі MEMS важлива послідовність дій. Якщо ліва частина пластини сохне швидше, ніж права, це може призвести до деформації пластини чи появи небажаних відкладень. Це справжній кошмар.
Ми провели багато часу на налаштуванні геометрії відбивачів, щоб уникнути цих проблем. Золоте покриття допомагає рівномірно розподіляти тепло по всій поверхні пластини.
Проблеми та їх рішення
Проблема полягає у тому, що коли ви подаєте таку велику кількість енергії на об’єкт, корпус нагрівача стає дуже гарячим. Це неприйнятно. Вам потрібно перевірити роботу вентиляторів чи систем охолодження, щоб вони могли ефективно справлятися з теплом. Якщо ви не будете приділяти увагу цьому, електроди будуть перегріватися, а термін служби нагрівача скоротиться.
Також не забувайте використовувати точний контролер PID. Оскільки система з золотим покриттям дуже швидко реагує на зміни потужності, вам потрібно ретельно налаштувати параметри. Інакше ви можете перевищити бажану температуру.
Як тільки ви досягнете оптимальних параметрів, ви зможете значно скоротити час осушення, зберігаючи при цьому пластину в безпеці. Це справжній успіх.