На виробничому поверсі ви знаєте, як це працює: відхилення температури випікання на 0,5°C може змінити критичні розміри на нанометри, і в результаті ви можете отримати велику кількість відходів. Традиційні лампи також викидають озон у процес, що псує оптику та покриває камери. Кількість часток зростає, і ви знову потрапляєте до зали для непланового обслуговування. Ми створили інфрачервону лампу без озону, щоб виключити цю змінну.
Що важливо під капотом
Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні випромінювачі, налаштовані для швидкого, прямого поглинання в фоточутливому матеріалі та субстраті, з спектром, сформованим так, щоб утримувати генерацію озону в межах. Під час м’якого випікання та твердого випікання температура по всій поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C, що підтримує стабільність в’язкості, товщини та шорсткості країв ліній. Відстеження заданої температури триває менше 50 мс, тому контроль у замкнутому контурі залишається точним, а тепловий бюджет залишається стабільним.
Дизайн готовий до чистих приміщень класу 1–100. Монтажна конструкція не викидає часток, а герметичний кварцовий корпус знижує вивільнення газів. Вихідна потужність залишається стабільною протягом понад 5,000 годин з менш ніж 5%-им падінням інтенсивності — ви можете працювати 24/7 без повторної калібрування.
Чому це важливо в літографії
Обробка фоточутливого матеріалу залежить від повторюваних температурних профілів. Ця лампа забезпечує повторювані профілі випікання по всій пластині, що підвищує вихід та знижує кількість відходів. Швидше встановлення температури скорочує час циклу, і ви не платите за це в плані однорідності. Використання енергії зменшується, оскільки тепло йде безпосередньо до цілі, а не на обігрів камери.
Відсутність озону означає менше випадків забруднення, довший термін служби оптики та передбачувані вікна для профілактичного обслуговування.
На що потрібно звернути увагу
Лампа потребує спеціального, чистого електроживлення, а допуски монтажу мають бути точними, щоб зберегти фокусну відстань і однорідність на належному рівні. Вона легко інтегрується з існуючими плитами для випікання/охолодження та трековими системами, але перевірте вирівнювання теплового інтерфейсу під час установки.
Також передбачте короткий час розігріву для досягнення спектральної стабільності — врахуйте це при кваліфікації процесу, щоб це не стало проблемою під час першого запуску.