فیبرک فلور پر، خشک کرنے کا عمل صرف صفائی کے بعد ہی انجام دیا جانے والا کام نہیں ہے۔ دراصل، باقی رہنے والی نمی اور غیر یکساں حرارت، لیتھوگرافیکل پروسیس میں خلل ڈالتی ہے، اور فوٹوریزسٹ کی ساخت کو بھی متأثر کرتی ہے۔ جب اوون، موجودہ حرارت کو برقرار نہیں رکھ پاتا، تو کناروں پر داغ پیدا ہو جاتے ہیں، اور سی ڈیز کی ساخت بھی متأثر ہو جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں مصنوعات بیکار ہو جاتی ہیں، دوبارہ عمل دہرانا پڑتا ہے، اور اضافی توانائی کی ضرورت پڑتی ہے۔
کیا اہم ہے؟
ہم خشک کرنے کے عمل کو، ویفر کی سطح پر یکسانیت اور دہرائی کی صلاحیت کے لحاظ سے ڈیزائن کرتے ہیں۔ ہدف یہ ہے کہ چیمبر کے اندر حرارت کی سطح ±0.1°C رہے، چاہے یہ نرم یا سخت حرارتی عمل ہی کیوں نہ ہو۔ حرارت فراہم کرنے کے لئے شارٹ-ویو انفراریڈ استعمال کیا جاتا ہے، تاکہ تیز رفتاری سے حرارت فراہم کی جاسکے، بغیر کسی زیادہ حرارت کے۔ کلین روم کے معیارات کے لحاظ سے، یہ سسٹم کلاس 1–100 کے مطابق ہے، اور ہم موقع پر ہی ذرات کی موجودگی کی نگرانی کرتے ہیں۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا ہے، بغیر کسی بلاوجہ کی بندش کے، اور لیمپوں کی زندگی اور حرارتی تغیرات کی نگرانی بھی کی جاتی ہے۔ ہم ہر بیچ میں استعمال ہونے والی توانائی کو بھی ریکارڈ کرتے ہیں، تاکہ ہر ویفر کے لئے استعمال ہونے والی توانائی کا پتہ لیا جاسکے، اور اسے بیک کی کوالٹی سے جوڑا جاسکے۔
عملی طور پر اس کی اہمیت کیا ہے؟
یہ سسٹم پیداوار کو برقرار رکھتا ہے، اور پروسیس کو مستحکم رکھتا ہے۔ درست حرارتی کنٹرول سے فوٹوریزسٹ کی ساخت برقرار رہتی ہے، کناروں پر پیدا ہونے والے داغ کم ہو جاتے ہیں، اور سی ڈیز کی ساخت بھی معیار کے مطابق رہتی ہے۔ توانائی کے ڈیٹا سے خشک کرنے کا عمل ایک لاگت سے متعلق عمل سے بدل کر ایک کنٹرول شدہ عمل بن جاتا ہے – کم دوبارہ عمل، کم وقت، اور کم گیس اور بجلی کی استعمال۔ یہ سسٹم ویفروں کے درمیان حرارتی توازن کو بھی برقرار رکھتا ہے، جس سے پروسیس میں بہتری آتی ہے، اور مختلف بیچوں میں فرق کم ہو جاتا ہے۔
ریٹروفیٹنگ کیسے کی جاتی ہے؟
ریٹروفیٹنگ کرنا آسان ہے، لیکن اس کے لئے کیریئر، پورٹ کی ترتیب، اور ایگزاسٹ پروفائل کو مناسب طریقے سے سیٹ کرنا ضروری ہے۔ اپنے خاص پروسیس کے لئے ریمپ ریٹ اور سیٹلمنٹ ٹائم کو درست کرنے کے لئے کچھ وقت درکار ہے۔ ایک بات یاد رکھنے کی ہے: کم درجہ حرارت پر صفائی کرنے اور زیادہ درجہ حرارت پر بیک کرنے کے درمیان تبدیلی کے وقت مناسب کولڈ ڈاؤن ضروری ہے۔ اس کے بغیر، حرارتی شاک کی وجہ سے مائکرو-کنٹامینیشن پیدا ہو سکتی ہے۔ ہوا کے بہاؤ اور ایگزاسٹ پاتھ کی منصوبہ بندی پہلے ہی کرنی ضروری ہے – کلین روم کے معیارات اور دہرائی کی صلاحیت اسی پر منحصر ہے۔