فیبرک فلور پر، آپ کو تو پتہ ہی ہے کہ کیا کرنا ہے۔ فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران 0.3°C کا اختلاف بھی ویفر کی سطح پر نینومیٹر کی سطح پر اختلاف پیدا کر سکتا ہے، جس سے بہت نقصان ہو سکتا ہے۔ ایواتیک کے ایواپوریٹر حرارتی لیمپ، اس اختلاف کو شروع ہونے سے ہی روکنے کے لئے بنائے گئے ہیں۔
دراصل کیا اہم ہے؟
ہم شارٹ-ویو NIR کوارٹز ایمیٹرز کا استعمال کرتے ہیں، جن کا کنٹرول بند لوپ کے ذریعہ ہوتا ہے؛ اس طرح ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے۔ ردِعمل کا وقت 200 ملی سیکنڈ سے کم ہے، جس کا مطلب ہے کہ سیٹ پوائنٹ تیزی سے تبدیل ہو جاتا ہے – بغیر اس اضافی اختلاف کے جو فلموں کو نقصان پہنچا سکتا ہے۔ لیمپ کا ڈیزائن کلاس 1–100 کے کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے، اور ذرات کو کنٹرول کرنے والا ڈیزائن، طویل عرصے تک استعمال کے دوران آلودگی کو روکتا ہے۔ آؤٹ پٹ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک مستحکم رہتا ہے، اور اختلاف 5% سے کم رہتا ہے۔
لیتھوگرافی اور فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں اس کی اہمیت
لیتھوگرافی اور فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں، نرم/سخت بیکنگ کے درجہ حرارت بہت اہم ہیں، کیوں کہ یہ کریٹیکل ڈائمینشنز اور چپس کی چپکنے کی صلاحیت کو متاثر کرتے ہیں۔ ایواتیک، بیکنگ کے عمل کو باقاعدہ رکھتا ہے، تاکہ ہر بار CD کنٹرول اور پروڈکشن کی کوالٹی یکساں رہے۔ حرارت تیز اور مستحکم ہے، جس سے سیکنڈ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور ہر ویفر پر خرچ ہونے والی توانائی بھی کم ہو جاتی ہے۔
پیکیجنگ لائنوں میں اس کی اہمیت
پیکیجنگ لائنوں میں، یہی درستگی پولیمر کو صحیح طریقے سے سخت کرنے میں مدد کرتی ہے، جس سے خلا اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ اس طرح، غلطیاں کم ہو جاتی ہیں، انجینیرنگ کے کام کم ہو جاتے ہیں، اور پلاننگ بھی آسان ہو جاتی ہے۔
اسے درست رکھنے کے لئے کیا ضروری ہے؟
لیمپ کو ایواتیک ایواپوریٹرز میں آسانی سے نصب کیا جا سکتا ہے، لیکن اس کے لئے مستحکم پاور سپلائی اور صاف الیکٹریکل کنٹاکٹس ضروری ہیں، تاکہ کنٹرول لوپ درست رہ سکے۔ چک کے مواد اور ایمیٹیویٹی کا بھی خیال رکھنا ضروری ہے – ہمارے پاس الومینیم، سیرامکس، اور کوٹڈ سطحوں کے لئے خصوصی ہدایات موجود ہیں۔
ترجیحاً ہر سہ ماہی میں کیلیبریشن کرنا، اور ہر سال لیمپ کی جانچ کرنا ضروری ہے۔ اس طرح ہی درستگی برقرار رہتی ہے، اور ذرات کی تعداد بھی مناسب رہتی ہے۔