لائن پر، فین-آؤٹ ریڈسٹریبیوشن کا مقصد دراصل حرارتی کنٹرول ہے۔ جب ایپوکسی مولڈ کمپاؤنڈ سخت ہوتا ہے، تو ایک جگہ پر حرارت زیادہ ہو جاتی ہے؛ جب فوٹوریزسٹ کو بیک کیا جاتا ہے، تو دوسری جگہ پر حرارت میں تغیر ہوتا ہے۔ اس صورت میں لائن کی چوڑائی اور بمپس کی سطح کو کنٹرول کرنا ضروری ہے۔ ہیٹر کو ہر ڈائی، ہر بیچ، اور ہر شفٹ میں یکساں درجہ حرارت فراہم کرنا ہوتا ہے۔
جو چیز واقعی اہم ہے
ہم نے فین-آؤٹ WLP ہیٹر کو شارٹ-ویو انفراریڈ ہیلوجن کوارٹز ایمیٹرز کے ذریعے تیار کیا۔ یہ سطحی حرارت فراہم کرنے والا نظام ہے، جس کی وجہ سے حرارتی کنٹرول بہتر رہتا ہے۔ ایکٹو زون میں درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے؛ یہ پیمائش خالی سلیکون پر، تھرموکپلز کے ذریعے کی جاتی ہے۔ ردِعمل چند سیکنڈوں میں ہی ہوتا ہے، جو کہ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل میں بہت اہم ہے۔ کلین روم کلاس 1–100 کے لئے کم گیس خارج ہونے والا ڈیزائن اور مستقل کارکردگی کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہ ہونا ضروری ہے۔ فیلڈ میں، یہ 24/7 کام کرتا ہے، اور مرمت کے درمیان ہزاروں گھنٹے گزر جاتے ہیں۔
پروڈکشن میں اس کی کامیابی کی وجوہات
ریڈسٹریبیوشن کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو بیک کیا جاتا ہے، انڈرفل کو سخت کیا جاتا ہے، پھر بمپس کو دوبارہ پگھلایا جاتا ہے – ہر مرحلہ اہم ہے۔ ہیٹر، حرارتی پروفائل کو استحکام دیتا ہے، تاکہ کرٹیکل ڈائمینشنز مطلوبہ حدود میں رہیں، اور انڈرفل کے خالی حصے کم سے کم رہیں۔ یکساں حرارت کی وجہ سے ویفر کے کناروں پر مسترد ہونے والے پروڈکٹس کی تعداد کم ہو جاتی ہے، اور بیچ سے بیچ منتقلی آسان ہو جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں کہ کوارٹز ایمیٹرز براہِ راست مطلوبہ علاقے کو گرم کرتے ہیں، نہ کہ پورے چیمبر کو۔ نتیجے کے طور پر، ہر ویفر سے زیادہ اچھے پروڈکٹس حاصل ہوتے ہیں، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور پروڈکشن کا وقت بھی بہتر ہو جاتا ہے۔
شروع میں درست کرنے والی چیزیں
ہیٹر کو موجودہ کوٹر/بیک ٹریکس اور مولڈ پریسز میں نصب کیا جا سکتا ہے، لیکن اس کی نصب کی جگہ اور اپرچر کو آلے کے مطابق ہونا ضروری ہے۔ EMI حساس علاقوں کے لئے الگ سے پاور سپلائی اور کلاس-کمپلاینٹ شیلڈنگ ضروری ہے۔ جب درجہ حرارت 250°C سے زیادہ ہو جاتا ہے، تو کوارٹز اور سرامک کے درمیانی حصوں پر توجہ دینی ضروری ہے – ہم حرارتی کنٹرول کے لئے مناسب کریو کی فراہمی کرتے ہیں۔ انضمام کی منصوبہ بندی جلدی کرنی چاہیے، تاکہ عمل جلدی شروع ہو سکے۔