سیمی کنڈکٹرز کی تیاری میں، انڈرفل کی خشک ہونے کے عمل میں ہی تھرمل بجٹ اور پیداواری صلاحیت کے درمیان تصادم ہوتا ہے۔ کبھی کبھی کوئی پیکیج مناسب طریقے سے خشک نہیں ہوتا، جس کی وجہ سے ری فلو عمل کے بعد پیکیج میں دراڑیں پڑ جاتی ہیں، اور Cpk کی قیمت بھی مطلوبہ حد سے باہر چلی جاتی ہے۔ ہم نے اپنے NIR انڈرفل خشک کرنے کے نظام کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ تھرمل پروفائل مستحکم رہے، تاکہ ہر پیکیج مطلوبہ معیارات کے مطابق ہی تیار ہو سکے۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں:
انڈرفل خشک ہونے کے عمل میں ویفر کی سطح پر ±0.1°C کی حد تک تھرمل یکسانیت برقرار رہتی ہے، اور یہ یکسانیت ہر شفٹ میں برقرار رہتی ہے۔ NIR توانائی تیزی سے کام کرتی ہے، جس کی وجہ سے سبسٹریٹ متأثر نہیں ہوتا، اور تھرمل بوجھ بھی مطلوبہ حد کے اندر ہی رہتا ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا ہے، اور اس میں کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے؛ یہ سسٹم کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق ہے، جس کی وجہ سے لیتھوگرافی اور پیکیجنگ کے دوران ذرات کی تعداد بھی مطلوبہ حد میں ہی رہتی ہے۔ درجہ حرارت کا کنٹرول بھی اچھا ہے؛ فوٹوریزسٹ کی ساخت برقرار رہتی ہے، اور اہم ابعاد بھی تبدیل نہیں ہوتے۔
یہی وجہ ہے کہ یہ نظام بڑے پیمانے پر پروڈکشن میں کامیاب ہے: انڈرفل خشک ہونے کا عمل پروڈکشن کی رفتار کا تعین کرتا ہے۔ NIR کی وجہ سے پروڈکشن کا وقت کم ہو جاتا ہے، لیکن چپس کی چپکنے کی صلاحیت اور شکل میں کوئی تبدیلی نہیں آتی۔ اس یکسانیت کی وجہ سے فضول مال کم ہو جاتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ عمل تیزی سے اور درست طریقے سے ہوتا ہے، اور اس کی وجہ سے OEE بھی مستحکم رہتا ہے۔ ویفر سے لے کر پیکیج تک، ہمیشہ یکساں چپکنے کی صلاحیت، پیشن گوئی کے مطابق CTE، اور کم خرابیاں ہی حاصل ہوتی ہیں۔
مختصر یہ کہ، NIR انڈرفل خشک کرنے کا نظام بہت مؤثر ہے۔ اگر جغرافیائی حالات پیچیدہ ہوں، تو ضروری ہے کہ مناسب ڈیزائن استعمال کیا جائے، یا دوسرا خشک کرنے کا عمل استعمال کیا جائے۔ اس نظام کو استعمال کرنے کے لئے لیمپ کی ترتیب، کنویئر کی رفتار، اور انڈرفل کی خصوصیات کو درست کرنا ضروری ہے۔ ایک بار یہ سب ٹھیک ہو جائے، تو یہ نظام مختلف پروڈکٹس میں بھی کام کرتا رہتا ہے۔ لیکن اگر انڈرفل کی ترکیب تبدیل کی جائے، تو دوبارہ ٹیسٹ کرنا ضروری ہے۔