用于IC的紧凑型红外干燥机

在光刻工艺中，光刻胶的烘烤环节并非简单的步骤而已——它实际上关系到整个工艺的热控制精度，是绝不能忽视的环节。如果软烘或硬烘的温度偏差达到半度，就会影响关键尺寸的控制，进而破坏晶圆的侧壁结构。传统的烘箱存在热容量大、升温缓慢的问题，同时还容易产生颗粒物。而专为集成电路设计的紧凑型红外干燥机则可以避免...