في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن عملية تسخين مادة الفوتوريزست ليست مجرد خطوة عادية، بل هي جزء أساسي من العملية الحرارية التي لا يمكن تجاهلها. أي اختلاف في درجة الحرارة، سواء كان طفيفًا أو كبيرًا، قد يؤثر على دقة التحكم في أبعاد الرقاقة ويخل باستقرار شكلها. الأفران التقليدية تسبب تأخيرًا في عملية التسخين، بالإضافة إلى وجود خطر دائم من تكوّن الجسيمات الصغيرة. أما الجهاز المستخدم لتجفيف رقاقات الـ IC، فهو مصمم للتغلب على هذه المشاكل.
ما الذي يهم حقًا؟ نستخدم مصادر إشعاع في الموجات القريبة من الأشعة تحت الحمراء، وهي مصممة لتوفير طاقة مباشرة إلى الرقاقة. وهذا يسمح بتحقيق استقرار في درجة الحرارة في أقل من 10 ثوانٍ، مع توزيع موحد لدرجة الحرارة على الرقاقة بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية. كما أن تكرار درجة الحرارة من مرة إلى أخرى يكون عند ±0.2 درجة مئوية، مما يضمن استقرار عملية تسخين مادة الفوتوريزست. يمكن استخدام هذا الجهاز في غرف نظيفة من الفئة 1–100، حيث يحتوي على نوافذ من الكوارتز المغلقة، بالإضافة إلى نظام تهوية يمنع تكوّن الجسيمات أثناء التشغيل. يتم التحكم في الجهاز باستخدام نظام PID، مما يسمح بتحديد إعدادات التسخين بدقة.
لماذا يناسب هذا الجهاز الخطوط الإنتاجية؟ يتم استخدام هذا الجهاز لتجفيف رقاقات بأحجام 200 مم و300 مم، بالإضافة إلى رقاقات ذات طبقات رقيقة من مادة الفوتوريزست. وبما أن الخطوط الإنتاجية لا تتحمل أي أخطاء في درجة الحرارة، فإن هذا الجهاز يسمح بتسخين الرقاقات بسرعة دون أي أخطاء، مما يقلل من وقت التشغيل ويوفر الطاقة. يمكن استخدام هذا الجهاز في أدوات التحكم في الخطوط الإنتاجية، أو كجهاز مستقل، وحجمه صغير بما يكفي لتوفير مساحة كافية في الخطوط الإنتاجية. كما أن هذا الجهاز يساعد في تقليل كمية الرقاقات التالفة، ويضمن توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة على الرقاقات، مما يسمح بتخطيط الإنتاج بدقة. يمكن الاعتماد على هذا الجهاز لآلاف الدورات التسخينية، حيث أن عمر المصادر الإشعاعية كافٍ للعمل على مدار 24 ساعة في اليوم، مع تقليل فترات الصيانة الوقائية.
التفاصيل التي تضمن جودة الجهاز تسخّن مصادر الإشعاع في الموجات القريبة من الأشعة تحت الحمراء بسرعة، وهذا يعني أنه يجب الانتباه إلى التوازن الحراري. يجب أن يتناسب تصميم الجهاز مع واجهة الجانب الخلفي للرقاقة، ونحن نوفر كلا النوعين من الأجهزة، القياسي والمخصص، لضمان تواصل فعال مع الرقاقة. يجب إجراء اختبارات قصيرة لضبط معدلات التسخين وتجنب أي أخطاء في درجة الحرارة. المتطلبات الأساسية لتشغيل الجهاز هي: جهد 110–240 فولت، هواء مضغوط، ونظام تهوية، لكن يجب التأكد من مستوى الجهد وضغط الهواء في الغرفة النظيفة قبل التركيب.