ফ্যাব ফ্লোরে, আপনি নিশ্চয়ই প্রক্রিয়াটি জানেন। ফটোরেজিস্ট বেক করার সময় ০.৩°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তনও ওভারলে অংশটিকে ন্যানোমিটার পরিমাণে বিচ্যুত করে দিতে পারে; এর ফলে ব্যয়ও অনেক বেড়ে যায়। ইভাটেকের এভাপোরেটরগুলো ঠিক এই ধরনের তাপমাত্রা-পরিবর্তনগুলোকে প্রতিরোধ করার জন্য তৈরি করা হয়েছে।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা সিঙ্গেল-লুপ কন্ট্রোল সিস্টেম ব্যবহার করে শর্ট-ওয়েভ NIR কোয়ার্টজ এমিটারগুলো ব্যবহার করি; ফলে চাকের উপর থাকা ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যেই থাকে। প্রতিক্রিয়ার সময়কাল ২০০ মিলিসেকেন্ডের কম; অর্থাৎ সেটপয়েন্টগুলো দ্রুত পরিবর্তিত হয়—ফলে ফিল্মগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। ল্যাম্পটি ক্লিনরুম-সংগত; আর পার্টিকল-নিয়ন্ত্রিত ডিজাইনটি দীর্ঘ সময় ধরে ব্যবহারের সময় দূষণ রোধ করে। ৫,০০০+ ঘন্টা ধরেও ল্যাম্পটির আউটপুট স্থিতিশীল থাকে; তাপমাত্রা-পরিবর্তনও ৫% এর কম থাকে।
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় এর কেন গুরুত্ব?
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় সঠিক তাপমাত্রা নির্ধারণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ। ইভাটেকের এভাপোরেটরগুলো সঠিক তাপমাত্রা বজায় রাখে; ফলে ওয়েফারগুলোর গুণমান ধারাবাহিক থাকে। তাপমাত্রা দ্রুত ও স্থিতিশীল থাকে; ফলে প্রক্রিয়ার সময়কাল কমে যায় এবং প্রতি ওয়েফারে ব্যবহৃত শক্তিও কমে যায়।
প্যাকেজিং লাইনে এর কী উপকারিতা?
প্যাকেজিং লাইনেও এই নির্ভুলতা পলিমারগুলোকে স্থিতিশীল অবস্থায় রাখে; ফলে ত্রুটি ও পুনঃকাজের প্রয়োজন কমে যায়। ফলে কম ত্রুটি, কম ইঞ্জিনিয়ারিং লট, এবং নির্ধারিত সময়েই কাজ সম্পন্ন হয়।
এটি সঠিকভাবে কাজ করার জন্য কী প্রয়োজন?
ল্যাম্পটিকে ইভাটেকের এভাপোরেটরগুলোতে সহজেই স্থাপন করা যায়; কিন্তু কন্ট্রোল লুপটি সঠিকভাবে কাজ করার জন্য স্থিতিশীল পাওয়ার সাপ্লাই ও পরিষ্কার ইলেকট্রিক্যাল কন্টাক্ট প্রয়োজন। চাকের উপাদান ও এমিসিভিটি নির্ধারণও গুরুত্বপূর্ণ—আমাদের কাছে অ্যালুমিনিয়াম, সিরামিক ও কোটেড পৃষ্ঠের জন্য বিশেষ নির্দেশাবলী রয়েছে।
ত্রৈমাসিকভাবে ক্যালিব্রেশন এবং বার্ষিকভাবে এমিটার পরীক্ষা করা প্রয়োজন। এতেই তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে এবং পার্টিকলের পরিমাণও নিয়ন্ত্রণে থাকে।