Na litografické ploše stačí jediná kapka vody k tomu, aby byla zničena celá série polovodičových desek. Je potřeba použít deionizovanou vodu k čištění – pokud se vlhkost neodstraní správně, hrozí kontaminace a tím i ztráta dobré přilnavosti fotorezistoru k povrchu desky. Konvenční způsoby sušení způsobují teplotní rozdíly na povrchu desky, což narušuje parametry procesu. Pokud jsou topné prvky nestabilní, částice, které uvolňují, mohou zvýšit počet částic v čisté místnosti nad stanovené hodnoty.
Co s tím tedy uděláme? Vytvořili jsme lampu na sušení deionizované vody, která využívá krátkovlnné infračervené vyzařovače uložené v kvartovém obalu. Jedná se o bezkontaktní řešení – rychle zahřívá a reakce je pod sekundu.
Teplotní jednotnost na povrchu desky zůstává v rozmezí ±0,1 °C během celého procesu, takže neztrácíte kontrolu nad rozměry fotorezistoru. Výkon zůstává konstantní od 10 % do 100 %, což zajišťuje vysokou opakovatelnost. Tělo lampy je vhodné pro čisté místnosti třídy 1–100. Potvrdili jsme, že nevznikají žádné částice o velikosti 0,1 μm. Intenzita napětí je nastavena tak, aby odstranila povrchovou vodu, aniž by došlo ke ztrátě rozpouštědel v fotorezistoru – takže teplotní podmínky zůstávají v požadovaném rozmezí.
Při čištění a sušení desek tato lampa rychle a rovnoměrně suší povrch – nezůstávají žádné skvrny ani kapky vody, ještě předtím, než začnete pracovat s fotorezistrem.
Během procesu zpracování fotorezistoru tato lampa snižuje posuny mezi řadami polovodičových desek a zvyšuje výtěžnost. Spotřeba energie klesá, protože teplo jde přímo do cíle, nikoliv do ohřevu okolního prostředí.
Spolehlivost této lampy je prokázána během 24/7 provozu – více než 5 000 hodin bez více než 5 % odchylek výkonu, a žádné plánované výpadky v high-volume linkách.
Instalace vyžaduje speciální izolovaný napájecí kabel a regulaci napětí, aby byla zachována tažnost ±0,1 °C. Lampa funguje dobře s standardními rozhraními od výrobců nástrojů, ale je potřeba udržovat optickou cestu bez vodních filmů a kondenzace – použijte ventilaci nebo lokální odvětrávání, abyste zabránili změnám vlhkosti.
Je potřeba kalibrovat vyzařovače každé 1 000 hodin, aby byla zachována potřebná opakovatelnost.