http://warm-ir-indoor.com/cs/tags/dryer/ Recent content in Dryer on Indoor Warm IR Solutions Hugo cs Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://warm-ir-indoor.com/cs/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ Thu, 18 Jun 2026 01:08:55 +0800 http://warm-ir-indoor.com/cs/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ <p><img src="http://warm-ir-indoor.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Kompaktní infračervený sušič pro IC"></p> <p>V procesu litografie není vysoušení fotolitografické vrstvy jen dalším krokem v procesu – jedná se o důležitý termální proces, který si nemůžete dovolit přehlédnout. I malá odchylka o půl stupně při vysoušení může ovlivnit kontrolu kritických rozměrů a narušit profil bočních stěn čipu. Konvenční pece mají velkou termickou hmotnost, pomalé zvyšování teploty a neustálé <a href="https://goldisgood.com">riziko</a> vzniku částic. Kompaktní infračervený sušič pro integrované obvody byl navržen tak, aby tyto problémy eliminoval.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř</strong> Používáme emitory blízkého infračerveného záření v krátkovlnném provedení bez halogenů – energie je tak přenášena přímo do čipu. Díky tomu dochází ke stabilizaci za méně než 10 sekund a k rovnoměrnosti teploty na celé ploše čipu v rozsahu ±0,1 °C. Opakovatelnost teploty mezi jednotlivými cykly je ±0,2 °C, takže proces vysoušení fotolitografické vrstvy zůstává přesný. Jednotka se hodí do čistých prostor třídy 1–100, má uzavřená skleněná okna a laminární systém odvodu vzduchu, který zabrání vzniku částic během provozu. Ovládání probíhá pomocí systému PID s podporou formátu SECS/GEM, takže můžete nastavit parametry procesu a sledovat jeho průběh od začátku do konce.</p>